رونمایی از دستگاه جدید نانولیتوگرافی

شرکت آبدکت (OBDUCAT) دستگاه نانولیتوگرافی جدیدی به بازار عرضه کرده است که قادر به چاپ الگوهایی با ابعاد 20 نانومتر است.

شرکت آبدکت (OBDUCAT) یکی از شرکت‌های پیشرو در حوزه‌ی تجهیزات لیتوگرافی و نانوچاپ است. این شرکت به تازگی نسل دوم دستگاه سیندر (SINDRE®) خود را رونمایی کرده است. عملکرد در این دستگاه جدید، بهبود قابل توجهی نسبت به موارد مشابه پیدا کرده است. این دستگاه براساس پتنت ثبت شده شرکت آبدکت طراحی و ساخته شده‌است.
دستگاه سیندر یک ابزار خودکار است که می‌توان با آن در هر ساعت 60 ویفر تولید کرد. در نسخه‌ی جدید این دستگاه، تغییراتی انجام گرفته که موجب افزایش خروجی دستگاه شده و همچنین تکرارپذیری آن به سطح بالاتری افزایش یافته است. نسل اول این دستگاه در حال حاضر به بازار عرضه می‌شود و قرار است نسل دوم در سه ماهه‌ی سوم امسال وارد بازار شود.
در این دستگاه جدید از استامپ پلیمری میانی (IPS) استفاده شده‌است؛ عملکرد این استامپ پیش از این آزمایش شده و عملکرد آن مورد تایید قرار گرفته است. یکی از مزیت‌های این استامپ آن است که می‌توان آن را به تمامی دستگاه‌های آبدکت که طی پنج سال گذشته ساخته شده‌اند، متصل کرد. فناوری IPS که توسط آبدکت پتنت شده‌است، در واقع پوشش انعطاف‌پذیر شفافی است که روی استامپ قرار می‌گیرد؛ این استامپ می‌تواند در هر فناوری چاپی دیگری مورد استفاده قرار گیرد. با این پوشش، طول عمر استامپ افزایش می‌یابد و در مقابل، هزینه‌ی چاپ به شدت کاهش می‌یابد. درصورت استفاده از این فناوری جدید که با عنوان «فناوری سافت‌پرس (SoftPress)» پتنت شده، می‌توان یکنواختی مورد نیاز در چاپ‌ها را ایجاد کرد. بنابراین امکان چاپ با حجم بالا و هزینه‌ی کم فراهم می‌شود. تمامی این فناوری در یک قطعه بسیار کوچک متراکم شده‌است.

دستگاه سیندر جدید دارای انعطاف‌پذیری قابل توجهی است به طوری که می‌توان آن را برای مواد مختلف مورد استفاده قرار داد. علاوه‌بر این، این دستگاه قادر است پردازش گرمایی و فرابنفش را هم در فرآیند چاپ استفاده کند؛ بنابراین امکان ایجاد الگوهای چاپی از ابعاد 20 نانومتر تا200 نانومتر فراهم می‌شود. پاتریک لوندستروم از مدیران شرکت آبدکت می‌گوید: «آبدکت دوباره نشان داد که در حوزه‌ی نانوچاپ پیشرو است. ما در طول یک دهه‌ی گذشته بیش از 130 دستگاه مختلف طراحی و تولید کرده‌ایم که در حوزه‌های LED و فتونیک استفاده شده‌اند».