ستاد ویژه توسعه فناوری نانو

فروش دستگاه لایه‌نشانی اتمی ویژه ویفر 200 میلیمتری

شرکت فنلاندی پیکوسان دستگاهی برای لایه‌نشانی اتمی روی ویفرهای 200 میلیمتری به یک شرکت آسیایی فروخته است. این دستگاه برای ساخت حسگر و ادوات الکترونیکی مناسب است.

پیکوسان (Picosun) یکی از شرکت‌های تولیدکننده ادوات لایه‌نشانی اتمی در فنلاند است. این شرکت اعلام کرد که دستگاه لایه‌نشانی خودکار P-300BV را به یکی از شرکت‌های تولیدکننده در آسیا فروخته است.
به اعتقاد مسئولان پیکوسان، هر چند ویفرهای 300 میلیمتری در بازار نیمه‌هادی نقش اساسی دارند و ویفرهای 450 میلیمتری هم در حال افزایش هستند، اما هیچ نشانه‌ای از کاهش بازار ویفرهای 200 میلیمتری دیده نمی‌شود. یکی از عوامل تأیید کننده این روند، افزایش نرخ استفاده از یاقوت کبود، نیترید گالیم و کاربید سیلیکون است. در مورد کاربردهایی نظیر LED، خودرو، تبدیل انرژی، مخابرات بدون سیم و حسگری استفاده از ویفرها به 200 میلیمتر محدود است. با توسعه اینترنت اشیاء، حسگرها سهم بیشتری در این بین خواهند داشت و نیاز به ساخت آنها افزایش خواهد یافت. تمام این روندها نشان می‌دهد که تقاضا برای تولید نیمه‌هادی‌های 200 میلیمتری تداوم خواهد داشت.
جان کوستامو از مدیران پیکوسان می‌گوید: «از آنجایی که بیشتر شرکت‌های نیمه‌هادی در حال حاضر از زیرلایه‌های 200 میلیمتری استفاده می‌کنند، تجهیزات تولیدی مناسب برای این موضوع بسیار کم است.»
دستگاه لایه‌نشانی اتمی مدل P-300BV برای پردازش ویفر 200 میلیمتری طراحی و ساخته شده‌است. این ابزار برای سامانه‌های MEMS مناسب بوده و می‌تواند برای تولید نیمه‌هادی مختلف به کار گرفته شود. این دستگاه مجهز به سامانه بارگزاری خلاء منفرد یا دوگانه برای بارگزاری نیمه‌خودکار در خلاء است. با این دستگاه می‌توان نیتریدها و دیگر مواد حساس را لایه‌نشانی کرد.
پیکوسان چندی پیش اعلام کرد که با همکاری دانشگاه ملی چیاو تونگ تایون و شرکت اتم سمیکون (Semicon) همکاری مشترکی برای توسعه ادوات نیترید گالیم با استفاده از فناوری لایه‌نشانی اتمی (ALD) آغاز کرده‌است.