شرکت آمریکایی TSI از سامانه نوآورانه Nano LPM رونمایی کرده است؛ فناوری‌ای که توانایی بی‌سابقه‌ای در تشخیص ذرات ۱۰ نانومتری در آب فوق‌خالص (UPW) دارد و سطح جدیدی از کنترل کیفیت را برای صنایع نیمه‌هادی فراهم می‌سازد.
ساخت دستگاهی برای شناسایی در لحظه ذرات نانومتری در آب بسیار خالص
در صنایع نیمه‌هادی، آب فوق‌خالص نقش حیاتی در فرآیندهایی چون تمیزکاری ویفر، شست‌وشوی تجهیزات، اچینگ (Etching) و حذف آلاینده‌ها ایفا می‌کند. اما حتی وجود ذراتی در مقیاس ۱۰ نانومتر می‌تواند بازدهی تولید را تحت تأثیر قرار دهد.
سامانه Nano LPM شرکت TSI با بهره‌گیری از فناوری ثبت‌شده خود، این ذرات فوق‌ریز را به‌صورت بلادرنگ و پیوسته شناسایی می‌کند و به تولیدکنندگان امکان می‌دهد قبل از آنکه کیفیت محصول به خطر بیفتد، تصمیم‌های اصلاحی بگیرند.
تا پیش از این، فناوری‌های نوری سنتی در تشخیص ذرات زیر ۲۰ نانومتر با چالش‌های متعددی مواجه بودند؛ از محدودیت‌های شاخص شکست نور گرفته تا تداخل ناشی از میکروحباب‌ها که منجر به قرائت‌های ناپایدار و نادقیق می‌شدند. اما سامانه Nano LPM با روشی متفاوت این موانع را کنار زده است.
این دستگاه چطور کار می‌کند؟ در قلب این سامانه، مولد ذرات Nano LPM قرار دارد که آب فوق‌خالص را به ذرات آئروسل تبدیل می‌کند، به‌طوری‌که قطرات خشک می‌شوند و تنها ذرات جامد نانومقیاس باقی می‌مانند.
این ذرات سپس توسط شمارنده ذرات با چگالش بر پایه آب (Water-Based Condensation Particle Counter) که ویژه محیط‌های کلین‌روم طراحی شده، شناسایی و شمارش می‌شوند.
به گفته کتان مهتا، معاون محصول و بازاریابی در TSI: «Nano LPM یک جهش واقعی برای کارخانه‌های نیمه‌هادی محسوب می‌شود. ما اکنون می‌توانیم در همان لحظه، کیفیت آب فوق‌خالص را در سطح ۱۰ نانومتر پایش کنیم، این یعنی حفظ بازدهی، کیفیت، و برتری رقابتی.»
این سامانه نه‌تنها دقت بی‌سابقه‌ای در پایش UPW فراهم می‌کند، بلکه زیرساختی حیاتی برای تصمیم‌گیری مبتنی بر داده در زمان واقعی ایجاد کرده است. با Nano LPM، کنترل محیطی دیگر صرفاً یک الزام نیست، بلکه به یک مزیت راهبردی تبدیل می‌شود.
