استفاده از پلاسمای میكروویو جهت بهبود رسوب‌دهی بخار شیمیایی

شرکت پیل سوختی Pacific اعلام کرد، به پلاسمای موج‌کوتاه جدیدی دست یافته است که روش رسوب‌دهی بخار شیمیایی را بهبود می‌بخشد. این روش جدید توسط شرکت سکی تک‌نوترون در آزمایشگاه این شرکت واقع در پارک تحقیقاتی دانشگاه ریورساید کالیفرنیا ارائه شده است. از این