شرکت SEMATECH ابزاری کلیدی را برای توسعه لیتوگرافی غوطه‌ور جهت تولید نیمه‌هادی‌های پیشرفته ۴۵ نانومتری توسعه داده است. این ابزار، یک سیستم پرتودهی غوطهورسازی تداخلی از سیستم‌های Amphibian می‌باشد و در مرکز فناوری غوطهورسازی (iTC) مستقر خواهد شد. این مرکز بر روی توسعه لیتوگرافی غوطهورسازی در زمینه راهکارهای مبتنی بر آب خالص تمرکز دارد.
