تیمی بین‌المللی روشی برای ساخت نانوذرات تک بلوری کروی اکسید سریم که می‌توانند در مسطح‌سازی مکانیکی شیمیایی (CMP) مدارهای مجتمع پیشرفته مفید بوده و نقایص کمتری در ویفرهایی که به عنوان جلا‌دهنده بکار می‌رفتند، نسبت به نانوذرات سریم با شکل نامنظم امروزی داشته باشند.
نانوذرات کروی امید تازه ویفرهای نیمه‌رسانا
تیمی بین‌المللی روشی برای ساخت نانوذرات تک بلوری کروی اکسید سریم یافتند. این ذرات می‌توانند در مسطح‌سازی مکانیکی- شیمیایی (CMP) مدارهای مجتمع پیشرفته مفید بوده و نسبت به نانوذرات سریم با شکل نامنظم امروزی، نقایص کمتری در ویفرهایی که به عنوان جلا‌دهنده به
