نانوپانتوگرافی- روشی جدید برای تولید ساختارهای کوچک در مقیاس وسیع

به لطف فناوری جدیدی که توسط اساتید دانشگاه هوستون توسعه یافته است، این امکان وجود دارد که نمایشگرهای بلور مایع (LCD) با وجودی که تازه وارد بازار شده‌اند، مورد بی‌توجهی قرار بگیرند.

به لطف فناوری جدیدی که توسط اساتید
دانشگاه هوستون توسعه یافته است، این امکان وجود دارد که نمایشگرهای بلور
مایع (LCD) با وجودی که تازه وارد بازار شده‌اند، مورد بی‌توجهی قرار
بگیرند.

وینست دانلی، دیمیتری اکونومو، و پل روچهوفت از دانشکده مهندسی Cullen روشی
توسعه داده‌اند که امکان تولید انبوه نانوابزارها را فراهم می‌آورد. این
روش می‌تواند منجر به تولید انبوه نمایشگرها نشر زمینه (FED) گردد.

این روش که نانوپانتوگرافی نامیده می‌شود، از لیتوگرافی نوری استاندارد
برای حذف انتخابی بخش‌هایی از یک فیلم نازک و حکاکی آن جهت ایجاد آرایه‌هایی
از میکرولنزهای متمرکزکننده یون (سوراخ‌های کوچکی در یک ساختار فلزی) روی
سطح یک بستر همانند یک ویفر سیلیکونی بهره می‌برد.

دانلی می‌گوید: «این لنزها همانند عناصر متمرکز کننده عمل می‌کنند. آنها
تابش‌ها را متمرکز نموده و امکان ایجاد سوراخی با قطر ۱۰۰ برابر کمتر از
اندازه لنز را ایجاد می‌نمایند».

سپس اشعه‌ای از یون‌ها روی این بستر تابانده می‌شود. وقتی ویفر سیلیکونی کج
می‌شود، الگوی مورد نظر به صورت میلیاردها سوراخ بسیار نزدیک به هم روی سطح
تشکیل می‌شود و تنها عامل محدودکننده اندازه اشعه یونی می‌باشد.

اکونومو می‌گوید: «شما می‌توانید با استفاده از این نوع تمرکز به طور
همزمان نانوساختارهایی در کل ویفر و در مناطق از پیش تعیین‌شده ایجاد
نمایید. به غیراز این روش می‌توان از اشعه الکترونی یا میکروسکوپ تونل‌زنی
روبشی برای ایجاد ابزارهای نانومقیاس استفاده کرد. با این حال در این روش‌ها
سرعت تولید پایین بوده و در نتیجه این روش‌ها برای تولید انبوه مناسب نمی‌باشند».

با استفاده از یک روش استاندارد چاپ می‌توان لنزهایی به قطر ۱۰۰ نانومتر
ایجاد کرد. اگر این لنزها با نانوپانتوگرافی ترکیب شوند، می‌توان
ساختارهایی با اندازه یک نانومتر ایجاد کرد.