اولین عضو سازنده قطعات نانوالکترونیک در شبکه آزمایشگاهی فناوری نانو

مجتمع تحقیقاتی نانوالکترونیک و لایه‌نازک دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر دانشگاه تهران به‌عنوان عضو آزمایشی شبکه آزمایشگاهی فناوری نانو انتخاب‌شد.

مجتمع تحقیقاتی نانوالکترونیک و لایه‌نازک دانشکده مهندسی برق و کامپیوتر دانشگاه تهران به‌عنوان عضو آزمایشی شبکه آزمایشگاهی فناوری نانو انتخاب‌شد.

این مجموعه آزمایشگاهی، پس از گذراندن دوره آزمایشی شش ماهه، به‌همراه سایر اعضای شبکه ارزیابی شده و درصورت کسب امتیاز لازم، عضویت آن قطعی خواهدشد.

شبکه آزمایشگاهی فناوری نانو، در زمینه‌هایی مانند تعمیر و نگهداری، کالیبراسیون، تأمین قطعات و نیز ارتقاء تجهیزات آزمایشگاهی، کسب استاندارد بین‌المللی ISO/IEC17025 و همچنین خرید تجهیزات جدید آزمایشگاهی مرتبط با فناوری نانو، از آزمایشگاه‌های عضو حمایت می‌کند.

مجتمع تحقیقاتی نانوالکترونیک و لایه‌نازک، در سال ۱۳۷۳ با نام «لایه نازک» تأسیس‌شد و در سال ۱۳۸۰، به‌دلیل گسترش فعالیت‌های گروه در زمینه نانوالکترونیک در لایه‌گذاری و لایه‌نشانی، ساخت و بازسازی دستگاه‌ها، آزمایشگاه به مجتمع تحقیقاتی نانوالکترونیک و لایه نازک تغییر نام داد.

این مجموعه شامل دستگاه‌هایی چون میکروسکپ SEM و STM، LPCVD(رسوب‌گذاری بخار شیمیایی در فشار پایین)، PET(سیستم لایه‌برداری عمودی و عمیق پلاستیک)، کوره‌های نفوذ ناخالصی و اکسیداسیون خشک و تر و PECVD(رسوب‌گذاری بخار شیمیایی در محیط پلاسما) است.