دانشمندان با استفاده از اسپاترینگ موفق به حل یکی از معماهای قدیمی در فرایند رسوب شدند. مدتها منشأ ایجاد ترک و جدا شدن لایه بهصورت رازی بود که مطالعات اخیر نشان داد که دلیل این مشکل تشکیل کلونی از ذرات است. در واقع نانوذرات در طول فرایند به یکدیگر چسبیده، ذرات درشتی را ایجاد میکنند که منشأ این مشکل است.
تجمع نانوذرات، دلیل مشکلات لایهنشانی در روش اسپاترینگ
دانشمندان با استفاده از اسپاترینگ موفق به حل یکی از معماهای قدیمی در فرایند رسوب رسوب اسپاترینگ یک فرایند لایهنشانی است که از دههی ۱۹۷۰ بهمنظور ایجاد پوشش تحقیقات جدید دانشگاه ورمونت و آزمایشگاه ملی آرگونه نشان میدهد که در طول فرایند الماکراندر، فیزیکدان آزمایشگاه ملی آرگونه، میگوید:«کسی فکرش را هم نمیکرد که
|