BET و DIRE؛ دو دستگاه جدید در بخش تجهیزات جشنواره

شرکت توسعه حسگرسازان آسیا با حضور در چهارمین جشنواره و نمایشگاه فناوری نانو دو دستگاه جدید خود را برای اولین بار به معرض دید عموم گذاشت. دستگاه تعیین ویژگی سطوح BET؛ و سیستم زدایش فعال یونی و زدایش عمیق سیلیکون DIRE؛ دو دستگاهی بودند که توسط این شرکت در چهارمین نمایشگاه نانو رونمایی شدند.


شرکت توسعه حسگرسازان آسیا با حضور در چهارمین جشنواره و نمایشگاه فناوری نانو دو دستگاه جدید خود را برای اولین بار به معرض دید عموم گذاشت. دستگاه تعیین ویژگی سطوح BET؛ و سیستم زدایش فعال یونی و زدایش عمیق سیلیکون DIRE؛ دو دستگاهی بودند که توسط این شرکت در چهارمین نمایشگاه نانو رونمایی شدند.

 

دستگاه تعیین ویژگی سطوح BET یکی از پرکاربردترین دستگاه‌ها در تعیین مشخصات مواد نانو ساختار از جمله نانو ذرات فلزی، اکسید فلزی، سولفیدی، نانو لوله‌ها، نانو الیاف و نانو جاذب‌ها است.

 

اندازه‌گیری سطح BET، توزیع و دانسیته سایت‌های فعال، خواص جذبی نانو ذرات، مکانیزم، دمای احیای نانو اکسیدهای فلزی و پارامترهای مورد نیاز واکنش نظیر انرژی فعال‌سازی از مهمترین مشخصه‌هایی هستند که توسط این دستگاه اندازه‌گیری می‌شوند. بیشتر آنالیزها بر مبنای جذب فیزیکی یا شیمیایی و تکنیک‌های برنامه‌ریزی شده دمایی صورت می‌گیرد. این تکنیک‌ها در تعیین مشخصات کاتالیست‌ها، نانوکاتالیست‌ها، نانو جاذب‌ها، نانو فیلترها و غشاءها، نانو الیاف، نانو لوله‌ها و لایه‌های نازک قابل استفاده بوده و دارای این مزیت است که از نظر تجربی در مقایسه با سایر روش‌های اسپکتروسکوپی ساده‌تر و ارزان‌تر هستند.

 

دستگاه دیگری که این شرکت در چهارمین جشنواره و نمایشگاه نانو ارائه داده، دستگاه زدایش فعال یونی و زدایش عمیق سیلیکون است.

 

زدایش یکی از رایج‌ترین روش‌های ایجاد نانو و میکروساختارهای مورد بررسی در شاخه‌های گوناگون و به خصوص در فناوری نانو الکترونیک است. امروزه یکی از پر کاربردترین روش‌های زدایش، زدایش خشک در فاز پلاسمایی گاز است. از مزایای عمده این نوع زدایش می‌توان به دماهای کم مورد نیاز، کنترل آسان نرخ زدایش و همچنین انعطاف‌پذیری بالا در ایجاد ساختارهای ریز همچون تعیین همسانگرد یا ناهمسانگرد بودن زدایش، تنها با انتخاب و کنترل مناسب گازهای درگیر در فرایند زدایش اشاره کرد. این دستگاه زدایش فعال یونی و زدایش عمیق سیلیکون نیز به صورت خشک در محیط پلاسما برای ایجاد ساختارهای مطلوب سیستم‌های الکترومکانیکی مورد مصرف آزمایشگاه‌هایی است که در زمینه MEMS فعالیت می‌کنند.

 

گفتنی است تحقیق و پژوهش روی این دستگاه در دانشگاه تهران انجام شده است و در حال حاضر نیز نمونه‌ای از آن در آزمایشگاه این دانشگاه مورد استفاده قرار گرفته است. هم چنین قرار است در دانشگاه امیرکبیر نیز نمونه دیگری از این دستگاه مورد استفاده قرار بگیرد.

 

شایان ذکر است چهارمین جشنواره و نمایشگاه فناوری نانو تا روز ۱۷ مهرماه ۱۳۹۰ در محل سالن خلیج فارس محل دائمی نمایشگاه‌های بین‌المللی تهران پذیرای علاقمندان این فناوری خواهد بود.