استقبال مراکز تحقیقاتی از نمونه ایرانی دستگاه DRIE

آزمایشگاه نیمه‌هادی دانشگاه صنعتی امیرکبیر از دستگاه «زدایش فعال یونی و زدایش عمیق سیلیکون (DRIE)» ساخت داخل، در فعالیت‌های تحقیقاتی دانشگاهی نظیر ساخت میکرو و نانو ساختارهای مورد بررسی در فناوری نانو الکترونیک استفاده می‌کند. به گفته مدیر بازرگانی شرکت حسگرسازان آسیا،‌ یک نمونه از این دستگاه در سال جاری در اختیار دانشگاه صنعتی امیرکبیر قرار گرفته است.

شرکت حسگرسازان آسیا دستگاه «زدایش فعال یونی و زدایش عمیق سیلیکون، به‌صورت خشک و در محیط پلاسما» را به منظور ایجاد ساختارهای مطلوب در سیستم‌های الکترومکانیکی مورد مصرف در زمینهMEMS تولید کرده است.

از جمله قابلیت‌ها و مزایای این دستگاه می‌توان به موارد زیر اشاره کرد:

• دماهای کم مورد نیاز زدایش؛

• کنترل آسان نرخ زدایش؛

• انعطاف‌پذیری بالا در ایجاد ساختارهای ریز مانند تعیین همسانگرد یا ناهمسانگرد بودن زدایش، تنها با انتخاب و کنترل مناسب گازهای درگیر در فرایند زدایش؛

• قابلیت ایجاد ساختارهای میکرومتری و نانومتری به‌صورت عمودی و عمیق؛

• زدایش موادی چون Si، Si3N4، SiO2؛

• ساخت نانوسیم‌ها و نانوحفره‌ها به‌عنوان لایه فعال در آشکار سازهای نوری؛

• ساخت نانو حسگرهای نیرو و گاز؛

• ساخت ادوات بر مبنای کریستال‌های فوتونی، منابع نوری، سوزنAFM؛ و

• ساخت ادوات میکروالکترومکانیکی همچون ریزشتاب سنج‌ها، ریز فشارسنج‌ها، ژیروسکپ‌های میکرومتری.

گفتنی است نمونه داخلی دستگاه DRIE، در مقایسه با نمونه آلمانی آن از قیمت پایین‌تر و سازگاری بیشتری با محیط زیست برخوردار است. عدم استفاده از نوعی پلیمر خاص که در نمونه مشابه آلمانی مورد استفاده قرار می‌گیرد، سبب شده تا این دستگاه در ردیف سامانه‌های سازگار با محیط زیست قرارگیرد. به گفته مهندس علی اخوان‌فراهانی، طراحی این سیستم کاملا داخلی بوده و روند تحقیقاتی تولید این دستگاه در دانشگاه تهران انجام شده‌است.

به گفته مدیر بازرگانی شرکت حسگرسازان آسیا قرار است به زودی دانشکده علوم و فنون دانشگاه تهران به این سامانه مجهز شود. همچنین دانشگاه‌های شیراز و بابل نیز در فهرست تجهیز به این دستگاه قرار دارند. شایان ذکر است نمونه‌ای از این دستگاه در چهارمین جشنواره و نمایشگاه فناوری نانو رونمایی و ارائه شده است.