تلاش برای فروش سبد پتنت‌های مربوط به لایه‌نشانی اتمی

کمپانی تگال اعلام کرد که در حال حاضر در حال انجام مذاکراتی به منظور فروش سری چهارم سبد پتنت خود در زمینه لایه نشانی نانو با کاربرد در فرآیندهای نیمه هادی می‌باشد.

این سبد پتنت، فناوری‌ها و سازه‌های فرآیند فیلم نازک را در ارتباط با دی‌الکتریک‌های low-k و موانع نوار مسی دربرمی‌گیرد. تگال سری اول تا سوم پتنت‌های لایه نشانی نانو خود را که شامل بیش از ۳۰ پتنت می-باشد، به ارزش تقریبی ۴ میلیون دلار در اواخر سال ۲۰۱۱ به فروش رسانده است. سازندگان تجهیزات بزرگ به پتنت‌های سری ۱ تا ۳ و گردآورندگان حقوق مالکیت‌فکری و سازندگان تجهیزات IC به سری چهارم این پتنت‌ها علاقمند هستند.

سبد پتنت‌های تگال راه‌حل‌هایی را برای اتصال لایه‌ها ارائه می‌دهد که از اهمیت قابل توجهی در فرآیند رسوب شیمیایی فاز بخار، لایه‌نشانی نانو، لایه‌نشانی اتمی چندلایه‌ای‌ها همچون لایه‌های مانع و لایه‌های اتصال برخوردار هستند.

به منظور رفع محدودیت‌های پوشش‌دهی که در روش‌های رسوب شیمیایی فاز بخار فعلی دیده می‌شود، توسعه‌دهندگان با استفاده تکنیک‌های لایه‌نشانی اتمی و نانو اقدام به تولید ذره، لایه مانع و چسبنده با دقت لایه اتمی و کنترل استوکیومتری، یکنواختی و ضخامت می‌پردازند. با استفاده از پتنت‌های تگال، گردآورندگان IP و توسعه‌دهندگان IC قادر به تقویت سبد پتنت خود به منظور طرح‌های فلزی‌سازی پیشرفته هستند که به خصوص در تبدیل روش رسوب بخار شیمیایی به لایه‌نشانی اتمی و دیگر روش‌های لایه‌به‌لایه ایده‌آل به کار می‌رود.