شرکت FEI اخیرا مدل جدیدی از دستگاه‌های آنالیز ویفر را به بازار عرضه کرده است. این دستگاه جدید با بهره‌مندی از یک سیستم نمونهبردار خودکار، امکان پاسخ‌گیری سریع‌تر نسبت به نسل قبلی را فراهم می‌کند.
دستگاه آنالیز ویفر مجهز به نمونهبردار خودکار
اخیرا شرکت اف ای آی (FEI) اعلام کرده که نسل جدید دستگاه‌های آنالیز ویفر DualBeam™ خود را به نام Helios NanoLab™ ۱۲۰۰AT, به بازار عرضه کرده است. این دستگاه مجهز به یک نمونهبردار (Loader) خودکار FOUP است که به کاربر این امکان را می‌دهد که روی یک نقطه مشخص از نمونه ویفر نمونه‌گزاری شود. این نقطه از قبل توسط تصاویر TEM یا SEM مشخص شده است. با این کار می‌توان نمونه‌های بسیار نازک از نمونه را از نظر ساختاری مورد بررسی قرار داد و نقص‌های موجود در آن را شناسایی کرد.
با استفاده از این دستگاه می‌توان جاهایی که منشاء نقص ساختاری هستند را شناسایی کرد. مزیت بزرگ این دستگاه آن است که می‌تواند با سه برابر سرعت بیشتر روی ویفرهای سیلیکون آنالیز انجام دهد بنابراین در صورت استفاده از این سیستم در خطوط تولید، می‌توان فرآیندهای تحقیق و توسعه را سرعت داد و تولید انبوه محصولات را تسریع کرد.
رودی کلنر از مدیران گروه صنعتی FEI می‌گوید با کوچک تر شدن نیمه‌هادی در صنعت الکترونیک نیاز به دستگاه TEM هر روز بیشتر می‌شود. از سوی دیگر آماده سازی نمونه نازک برای تصویربرداری TEM کاری زمان‌بر بوده به طوری که به نوعی محدودیت در انجام کار‌هایی با حجم بالا محسوب می‌شود. بنابراین با استفاده از FOUP می‌توان نتایج را چند برابر سریع‌تر بدست آورد این درحالی است که در روش‌های رایج بین چند ساعت تا چند روز برای این کار زمان نیاز است. از نظر سازماندهی نیز این راهبرد یک مزیت دارد و آن این که کسی که به اطلاعات نمونه نیاز دارد خود صاحب دستگاه است و نیاز به ارسال نمونه به آزمایشگاه نیست. در نهایت فرآیندهای مهندسی سریع‌تر شده و گره‌های با سرعت بیشتری باز می‌شوند بنابراین وارد شدن محصول به بازار نیز سریع‌تر اتفاق می‌افتد.
Helios NanoLab 1200AT به محققان این امکان را می‌دهد تا روی ویفرهای ۳۰۰ میلی‌متری بتوانند ساختارهای ۱۰ نانومتری ایجاد کنند که این ساختارها نیز می‌توانند برای تولید ترانزیستور استفاده شوند. این دستگاه علاوه بر داشتن FOUP از تمام امکانات مربوط به فناوری DualBeam شرکت اف‌ای‌آی بهره‌مند است.
درباره FEI
این شرکت یکی از بزرگترین تولید کنندگان تجهیزات فناوری نانو است که بیش از ۶۰ سال قدمت دارد. FEI در تولید دستگاه‌هایی نظیر TEM، SEM و FIB از شهرت جهانی برخوردار است.
