افزودن مود ماکروویو روبشی به دستگاه AFM

شرکت اجیلت تکنولولژیز (Agilent Technologies Inc) اخیرا مود جدیدی به دستگاه میکروسکوپ نیروی اتمی خود افزوده است این مود میکروسکوپ ماکروویو روبشی (scanning microwave microscopy) بوده که موجب افزایش دامنه کاربرد AFM این شرکت می‌شود. برای افزودن این مود به دستگاه AFM یک تیرک ویژه SMM طراحی و به این میکروسکوپ افزوده شده که قادر به اندازه‌گیری خواص الکتریکی نمونه خواهد بود. این سیستم روی AFM مدل ۵۵۰۰ شرکت اجیلنت قابل نصب است.

تیانوی جینگ مدیر بخش تحقیق و توسعه شرکت اجیلنت می‌گوید با توجه به نوع طراحی AFM ما، این امکان وجود دارد که روی آن مود SMM نصب شود. هرچند این مود برای مدل ۵۵۰۰ طراحی شده است اما نتایج تست‌ها نشان می‌دهد که در صورت نصب روی مدل‌های ۵۴۲۰ و ۵۶۰۰ ال اس، عملکرد آنها بهبود چشمگیری پیدا می‌کند. این مود جدید که به صورت مکمل دستگاه AFM مدل ۵۵۰۰ است می‌تواند قابلیت‌های متعددی به این میکروسکوپ اضافه کرده و کنترل کاربر را در انجام آزمون‌ روی نمونه‌های مختلف افزایش دهد.

در مود SMM شرکت اجیلنت به دلیل کالیبراسیون پارامترهای الکتریکی، امکان رسیدن به قدرت تفکیک بالا، نظیر آنچه که در مودهای دیگر AFM است، وجود دارد. مود SMM برای مطالعه و تعیین مشخصات نیمه‌هادی‌ها بسیار مناسب است به طوری که این مود می‌تواند مقاومت‌های پیچیده را در نیمه‌هادی‌ها اندازه‌گیری کند. علاوه بر مقاومت، امکان اندازه‌گیری دانسیته تقویت و ظرفیت خازنی نیمه‌هادی وجود دارد. به اعتقاد سازندگان این دستگاه مود SMM در انواع مختلف نیمه‌هادی‌ها کاربرد داشته و نیاز به لایه اکسیدی ندارد.

نسل دوم دیرک SMM می‌تواند توانمندی‌های کاربر را در انجام آزمون بهبود دهد. طراحی ساده آن موجب شده تا برای آماده کردن دستگاه جهت تصویربرداری مراحل کمتری نیاز باشد. یکی از دشواری‌های کار با AFM تعویض نوک آن است که طراحی این سیستم جدید به نحوی است که این تعویض به سادگی انجام می‌شود. این دیرک جدید به شکلی طراحی شده که به راحتی با مدل‌های رایج AFM شرکت اجیلنت یعنی ۵۶۰۰ ال اس، ۵۵۰۰ و ۵۴۲۰ قابل انطباق است.