شرکت اپلاید متریال دستگاه لایه‌نشانی جدیدی به بازار عرضه کرده است که دقت بالایی در ایجاد لایه‌های اپیتاکسیال دارد. از این دستگاه می‌توان در تولید ادوات الکترونیکی نظیر ترانزیستورهای بسیار سریع استفاده کرد.
ساخت دستگاه لایه‌نشانی با قابلیت استفاده در صنعت نیمه‌هادی
شرکت اپلاید متریال (Applied Materials) یکی از شرکت‌های فعال در حوزه فناوری اپیتاکسیال است. این شرکت تجهیزات و نرم‌افزارهایی برای صنعت نیمه‌هادی تولید می‌کند. این شرکت دستگاهی را با نام AppliedCentura® RP Epi به بازار عرضه کرده است که در بخش تولید ترانزیستورهای NMOS کاربرد دارد. با استفاده از این دستگاه می‌توان در نود ۲۰ نانومتری، ترانزیستورهای PMOS را به ترانزیستورهای NMOS تبدیل کرد. با این توانمندی، تولیدکنندگان تراشه می‌توانند ادوات سریع‌تر تولید کرده و در نهایت نسل جدیدی از پردازنده‌های تلفن همراه را تولید کنند.
استیو قانایم از مدیران این شرکت می‌گوید: این سیستم جدید یکی از اجزاء اساسی در فرآیند تولید ترانزیستورهایی با عملکرد بالا است. با وارد شدن این دستگاه به بازار، مشتریان ما می‌توانند عملکرد ترانزیستورهای خود را افزایش داده و نسل جدیدی از ادوات الکترونیکی را تولید کنند.
از آنجایی که نود ۹۰ نانومتری سرعت حرکت حاملین بار را افزایش داده و موجب کاهش مقاومت الکتریکی ترانزیستورهای PMOS می‌شود، در نتیجه سرعت محصول تولید شده نیز افزایش می‌یابد. با اعمال لایه نازک اپیتاکسیال به ترانزیستورهای NMOS، افزایش محسوسی در سرعت این ترانزیستورها اتفاق می‌افتد که این امر منجر به بهبود عملکرد تراشه می‌شود. این دستگاه توانایی اعمال لایه نازک روی هر دو نوع ترانزیستور را دارد. بنابراین شرکت اپلاید متریال می‌تواند نیاز بازار را در هر دو بخش پاسخ داده و در نهایت به افزایش توان ادوات الکترونیکی تولید شده در بازار کمک کند. این بهبود توان در نهایت منجر به افزایش کیفیت سیستم‌های الکترونیکی نظیر قدرتمندتر شدن کارت‌های گرافیکی می‌شود.
فناوری ارائه شده توسط اپلاید متریال دارای توانمندی اعمال لایه نازک با دقت بالا در یک محل مشخص است. بنابراین با استفاده از آن می‌توان لایه‌های نازک یکنواخت، با کیفیت بالا و نقص ساختاری اندک تولید کرد. این ویژگی‌ها موجب می‌شود تا لایه نازک از نظر خواص الکترونیکی کیفیت مناسبی داشته باشد. برای مثال مقاوت الکتریکی آن کاهش یابد.
در ساخت این دستگاه از یک فناوری تمیزکننده موسوم به Siconi® استفاده شده است. ترکیب این سیستم با توانایی لایه‌نشانی دقیق موجب شده تا امکان آلوده شدن محصول نهایی به حداقل برسد.
جهت کسب اطلاعات بیشتر به آدرس www.appliedmaterials.com مراجعه نمایید.
