اخیرا شرکت ایکس ای آی ساینتیفیک (XEI Scientific) پتنتی را در حوزه ساخت دستگاه تمیزکننده ستون‌های خلاء میکروسکوپ الکترونی به ثبت رسانده است. این دستگاه مجهز به سیستم پلاسما بوده که با تولید رادیکال‌های آزاد می‌تواند آلایندگی موجود در میکروسکوپ الکترونی و دیگر دستگاه‌های دارای خلاء بالا را از بین ببرد.
ثبت پتنتی در ارتباط با دستگاه تمیزکننده ستون‌های خلاء
شرکت ایکس ای آی ساینتیفیک (XEI Scientific) اعلام کرده است که موفق به ثبت پتنتی در زمینه تمیز کردن آلودگی‌های موجود در میکروسکوپ‌های الکترونی و سیستم‌های مجهز به خلاء بالا شده‌است. این پتنت برای روشی جهت پاک کردن اکسایشی سیستم‌های خلاء و میکروسکوپ الکترونی به شماره US8507879B2 به ثبت رسیده است.
شرکت ایکس ای آی با استفاده از این روش، سیستمی موسوم به Evactron® RF plasma cleaning system تولید کرده است. این دستگاه می‌تواند رادیکال‌های آزاد تولید کرده و با استفاده از این رادیکال‌ها، هیدروکربن‌ها، ترکیبات آلی و دیگر ترکیبات کربنی موجود در سطح قطعات میکروسکوپ SEM و دستگاه‌های مجهز به سیستم‌های خلاء را از بین ببرد. ترکیبات آلاینده بعد از تماس با رادیکال‌های آزاد، تجزیه شده و با استفاده از پمپ خلاء به خارج از دستگاه هدایت می‌شوند.
شرکت ایکس ای آی تاکنون بیش از ۱۸۰۰ دستگاه Evactron® RF plasma را در سراسر جهان فروخته است. خریداران این دستگاه از آن برای تمیز کردن دستگاه‌های مختلف نظیر میکروسکوپ الکترونی، FIB و چمبرهای خلاء مخصوص نمونه استفاده می‌کنند.
درباره شرکت XEI Scientific
این شرکت در سال ۱۹۹۹ موفق به اختراع دستگاه Evactron شد که اولین دستگاه تمیزکننده با پلاسما محسوب می‌شود. این دستگاه با اعمال پلاسما می‌تواند آلاینده‌های کربنی ستون میکروسکوپ‌های الکترونی را از بین ببرد. در این دستگاه از یک منبع پلاسما برای تولید رادیکال‌های اکسیژن استفاده می‌شود که منبع تولید اکسیژن، هوا است.
تمیزکردن آلاینده‌های کربنی از ستون SEM و دیگر تجهیزات می‌تواند کیفیت آنالیز و تصویربرداری آنها را افزایش دهد. ایکس ای آی از یک مولد پلاسمای RF منحصربه فرد در دستگاه Evactron استفاده کرده است که الکترودهای RF نیز پیشتر توسط این شرکت پتنت شده‌است.
