ساخت TEM با قدرت تفکیک کمتر از یک آنگستروم

شرکت FEI، یکی از بزرگترین تولیدکننده میکروسکوپ الکترونی عبوری (TEM) در جهان، در حال ساخت میکروسکوپی با ولتاژ پایین است که امکان تصویربرداری با دقت ۰٫۷۸ آنگستروم را فراهم می‌کند.

شرکت اف‌ای‌آی (FEI) اخیراً قرارداد همکاری مشترکی با شرکت سی‌ای‌او‌اس (CEOS) و دانشگاه اولم منعقد کرده است تا در قالب آن، میکروسکوپ الکترونی ولتاژ پایین با قدرت تفکیک در مقیاس کمتر از یک آنگستروم تولید شود.
یکی از برنامه‌های اصلی این پروژه، رفع انحرافات و اصلاح لنزها در میکروسکوپ الکترونی عبوری (TEM) است که شرایط را برای تصویربرداری از مواد حساس به تابش آماده کرده و امکان تصویربرداری از نمونه‌های آلی با قدرت تفکیک اتمی را برای کاربر فراهم می‌کند. با این میکروسکوپ می‌توان اطلاعات طیف‌سنجی را در ولتاژهای پایین به دست آورد.
TEM تجاری موجود در بازار معمولاً ولتاژهای بالایی در حد ۳۰۰ کیلو ولت و کنتراست پایینی دارند و به نمونه‌های حساس آسیب می‌زند؛ در حالی که در این پروژه، ساخت میکروسکوپی با ولتاژ ۲۰ کیلو ولت مد نظر بوده که می‌تواند اطلاعات ساختاری و طیف‌سنجی نمونه‌های مختلف را ارائه کند.
شرکت CEOS در ساخت سیستم‌های نوری و الکترونی اصلاح شده تجربه داشته و در حال حاضر روی فناوری اصلاح‌کننده‌های بهینه شده برای رفع انحراف کروی و رنگی در ولتاژ پایین متمرکز شده است. شرکت FEI این میکروسکوپ را براساس فناوری TEM پیشین خود که با نام تجاری TitanTM با ولتاژ ۸۰ تا ۳۰۰ کیلوولت کار می‌کند، خواهد ساخت. TitanTM قدرتمندترین میکروسکوپ TEM جهان است.
محققان دانشگاه اولم نیز روی روش‌های آماده‌سازی نمونه و تئوری تصویربرداری با الکترون‌های کم انرژی کار خواهند کرد. حمایت مالی این پروژه توسط بنیاد تحقیقات آلمان (DFG) تأمین شده و کار روی آن از سال ۲۰۰۸ آغاز شده است. شرکت FEI این فناوری را به مرحله پایانی تجاری‌سازی خواهد برد.
نکته کلیدی و اصلی در این پروژه، امکان اصلاح انحراف نوری در میکروسکوپ است. قدم بعدی آماده‌سازی نمونه برای ایجاد کنتراست بالاست. عرضه این میکروسکوپ قدرتمند به بازار می‌تواند مرزهای دانش را تغییر دهد.