شرکت ام‌وی پروداکتس (MV Products) اقدام به تولید و عرضه دام ورودی پمپ خلاء برای تجهیزات لایه‌نشانی اتمی (ALD) کرده است تا پیش‌ماده‌های مصرف نشده در طول فرآیند را از سیستم خارج کند.
تولید و عرضه «دام ورودی پمپ خلاء» برای دستگاه ALD
دستگاه‌های لایه‌نشانی اتمی همیشه نیازمند پمپ خلاء هستند تا خلاء مورد نیاز خود را تأمین کنند، اما آلودگی‌های مختلف می‌تواند منجر به نقص عملکردی این پمپ‌ها شود.
ام‌وی پروداکتس یک تله ورودی پمپ خلاء به بازار عرضه کرده که برای محافظت از پمپ خلاء و دستگاه‌های لایه‌نشانی اتمی (ALD) قابل استفاده است. این تله می‌تواند پیش‌ماده‌های استفاده نشده در فرآیند را به دام انداخته و از سیستم خارج کند.
این تله ورودی پمپ خلاء به سادگی می‌تواند به‌منظور استفاده در ابزارهای ALD مختلف تغییر داده شود تا پیش‌ماده‌هایی نظیر TMA، TiCL،DeZ و H2S را که در فرآیند لایه‌نشانی مصرف نشده‌اند، از سیستم خارج کند. این تله برای تولیدکنندگان IC، MEMS، LED و OLED، اپتیک، نمایشگر و باتری قابل استفاده است.
این تله از جنس استیل ضدزنگ بوده و در ابعاد مختلف قابل عرضه است که برای پمپ‌های خلاء با نرخ ۲۵ تا ۲۰۰۰ CFM قابل استفاده است.
این تله هم برای بخش تحقیقات و هم تولید قابل استفاده است. قطر این تله از ۴ تا ۱۶ اینچ و ابعاد حفره آن از NW-25 تا ISO-160 متغییر است. در این تله از فیلترهایی با قابلیت جذب مواد استفاده شده است. Sodasirb یک جاذب ویژه برای خنثی کردن اسید و Sulfatreat نیز بخشی برای خنثی کردن H2S است.
این دام ورودی خلاء برای فرآیند ALD با توجه به پیکربندی مورد سفارش از ۲۴۹ تا ۴۷۹۹ دلار قیمت دارد.
شرکت ام‌وی پروداکت در سال ۱۹۷۱ با هدف تولید محصولات مرتبط به خلاء تأسیس شد. این شرکت به بررسی مشکل عملکردی پمپ‌ها پرداخته و به رفع مشکل این پمپ‌ها کمک می‌کند. همین کار منجر به تأسیس بخش تحقیق و توسعه این شرکت شد. در نهایت این شرکت به تولید دام‌های ورودی پمپ خلاء، دام‌های خروجی، حذف‌کننده‌های غبار و سامانه‌های فیلترکننده روغن در طیف وسیعی از آزمایشگاه‌های و مراکز صنعتی اقدام کرد.
