شرکت فنلاندی پیکوسان دستگاهی برای لایه‌نشانی اتمی روی ویفرهای ۲۰۰ میلیمتری به یک شرکت آسیایی فروخته است. این دستگاه برای ساخت حسگر و ادوات الکترونیکی مناسب است.
فروش دستگاه لایه‌نشانی اتمی ویژه ویفر ۲۰۰ میلیمتری
پیکوسان (Picosun) یکی از شرکت‌های تولیدکننده ادوات لایه‌نشانی اتمی در فنلاند است. این شرکت اعلام کرد که دستگاه لایه‌نشانی خودکار P-300BV را به یکی از شرکت‌های تولیدکننده در آسیا فروخته است.
به اعتقاد مسئولان پیکوسان، هر چند ویفرهای ۳۰۰ میلیمتری در بازار نیمه‌هادی نقش اساسی دارند و ویفرهای ۴۵۰ میلیمتری هم در حال افزایش هستند، اما هیچ نشانه‌ای از کاهش بازار ویفرهای ۲۰۰ میلیمتری دیده نمی‌شود. یکی از عوامل تأیید کننده این روند، افزایش نرخ استفاده از یاقوت کبود، نیترید گالیم و کاربید سیلیکون است. در مورد کاربردهایی نظیر LED، خودرو، تبدیل انرژی، مخابرات بدون سیم و حسگری استفاده از ویفرها به ۲۰۰ میلیمتر محدود است. با توسعه اینترنت اشیاء، حسگرها سهم بیشتری در این بین خواهند داشت و نیاز به ساخت آنها افزایش خواهد یافت. تمام این روندها نشان می‌دهد که تقاضا برای تولید نیمه‌هادی‌های ۲۰۰ میلیمتری تداوم خواهد داشت.
جان کوستامو از مدیران پیکوسان می‌گوید: «از آنجایی که بیشتر شرکت‌های نیمه‌هادی در حال حاضر از زیرلایه‌های ۲۰۰ میلیمتری استفاده می‌کنند، تجهیزات تولیدی مناسب برای این موضوع بسیار کم است.»
دستگاه لایه‌نشانی اتمی مدل P-300BV برای پردازش ویفر ۲۰۰ میلیمتری طراحی و ساخته شده‌است. این ابزار برای سامانه‌های MEMS مناسب بوده و می‌تواند برای تولید نیمه‌هادی مختلف به کار گرفته شود. این دستگاه مجهز به سامانه بارگزاری خلاء منفرد یا دوگانه برای بارگزاری نیمه‌خودکار در خلاء است. با این دستگاه می‌توان نیتریدها و دیگر مواد حساس را لایه‌نشانی کرد.
پیکوسان چندی پیش اعلام کرد که با همکاری دانشگاه ملی چیاو تونگ تایون و شرکت اتم سمیکون (Semicon) همکاری مشترکی برای توسعه ادوات نیترید گالیم با استفاده از فناوری لایه‌نشانی اتمی (ALD) آغاز کرده‌است.
