ساخت دستگاهی برای تعیین دقیق ابعاد نانوذرات در صنعت نیمه‌هادی

شرکت اینوویتیو نانوتک (Innovative Nanotech) دستگاهی برای تعیین ابعاد نانوذرات در سیال‌های مورد استفاده در صنعت نیمه‌هادی ساخته است. این دستگاه می‌تواند با دقت بالایی ذرات بالاتر از 5 نانومتر را شناسایی کند.

اینوویتیو نانوتک (Innovative Nanotech) با سرمایه‌گذاری شرکت تایوانی کروما ای‌تی (Chroma ATE) فعالیت می‌کند. اینوویتیو اخیراً قراردادی با مؤسسه تحقیقات فناوری صنعتی (ITRI) امضاء کرده است. این قرارداد به انتقال فناوری پیمایش نانوذرات مربوط می‌شود. مؤسسه تحقیقات فناوری صنعتی به‌عنوان یکی از سهام‌داران اصلی اینوویتیو شناخته می‌شود. چندی قبل نیز اینوویتیو نانوتک قراردادی با پارک علم سینچو امضاء کرد تا سامانه‌ی پیمایش نانوذرات مایع را توسعه دهد. این سامانه در فرآیند تولید نیمه‌هادی استفاده می‌شود.
در کارخانه‌های تولید قطعات نیمه‌هادی مقدار بسیار زیادی از سیال‌های مختلف به‌منظور تمیز کردن، اچ ‌کردن و آسیاب‌ کردن مورد استفاده قرار می‌گیرد. وجود ناخالصی در این سیال‌ها موجب می‌شود تا نرخ خرابی در محصولات افزایش یابد. در حال حاضر از فناوری اندازه‌گیری ذرات مبتنی بر پراش نور استفاده می‌شود که دقت بالایی برای ذرات کمتر از 20 نانومتر ندارد. این کار موجب دشواری در کنترل فرآیند تولید می‌شود.
با کاهش ابعاد ترانزیستورها به 10 و حتی 7 نانومتر، این ناخالصی‌ها نقش مهم‌تری را در فرآیند ایفا می‌کنند و باید راهکاری برای شناسایی این ذرات ارائه کرد.
برای حل این مشکل، شرکت اینوویتیو نانوتک نسل جدیدی از سامانه‌های اندازه‌گیری و پیمایش نانوذرات را به نام SuperSizer ساخته است. این سامانه می‌تواند با دقت بالا، ذرات بالای 5 نانومتر را شناسایی کند. با این فناوری تولید کنندگان می‌توانند وجود ناخالصی را شناسایی کرده و در نهایت میزان خرابی را در محصول نهایی به حداقل برسانند. از این فناوری می‌توان در صنایع الکترونیک، اپتوالکترونیک و زیست‌پزشکی استفاده کرد.
اینوویتیو نانوتک یکی از شرکت‌های فعال در حوزه‌ی تجهیزات است که در بخش سامانه‌های خودکار اندازه‌گیری فعالیت دارد. این شرکت پیش از این ابزاری برای مشخصه‌یابی دقیق برای استفاده در صنعت نیمه‌هادی ساخته است. این شرکت به بازوی اجرایی اصلی شرکت کروما تبدیل شده و راهکارهایی برای حل مشکلات صنعت نیمه‌هادی ارائه می‌کند. این شرکت به دنبال تأمین الزامات آزمون‌های مورد استفاده در صنعت نیمه‌هادی است.