شرکت سوئیسی فمتوتولز (FemtoTools) اعلام کرد اولین دستگاه نانودندانه‌گذاری مبتنی بر SEM با قدرت تفکیک بالا را ساخته است.
عرضه دستگاه نانودندانه‌گذاری مبتنی بر SEM
شرکت فمتوتولز دستگاه نانودندانه‌گذاری مبتنی بر SEM ساخته که برای مشخصه‌یابی ادوات MEMS یا تعیین مشخصات شبه‌‌مواد و میکروساختارها زیر فشار یا استرس مناسب است.
این دستگاه به‌منظور مشخصه‌یابی کمّی خواص مواد، بررسی مکانیک تغییر شکل، مطالعه مقاومت در برابر شکستگی و بررسی رفتار خستگی مواد مورد استفاده قرار می‌گیرد.
در این سامانه از حسگری مبتنی بر میکروتراشه استفاده شده است، همچنین دستگاه نانودندانه‌گذاری FT-NMT04 از فرآیند تولید نیمه‌هادی ویژه‌ای بهره‌‌مند است. با استفاده از این ویژگی‌ها، این دستگاه نانودندانه‌گذاری عملکردی بهتر نسبت به دستگاه‌های نانودندانه‌گذاری رایج دارد. این برتری در بخش حسگری، قدرت تفکیک و تکرارپذیری است.
این دستگاه از فرکانس رزونانس بالا (بیش از یک کیلوهرتز) برخوردار بوده و همچنین می‌تواند رویدادهای بسیار سریع را اندازه‌گیری کند. از دیگر ویژگی‌های این دستگاه امکان انجام تست‌های چرخشی یا خستگی در فرکانس‌های بالا است.
با استفاده از این دستگاه نانودندانه‌گذاری می‌توان مدول یانگ و سختی را در عمق‌های کمتر از ده نانومتر مشخصه‌یابی کرد. از دیگر کاربردهای این دستگاه می‌توان به انجام تست‌های شکستگی در میکروکانالیورهای MEMD یا تست‌های کششی اشاره کرد که در نهایت با استفاده از این داده‌ها می‌توان منحنی استرس – استرین را در طول تغییر شکل پلاستیکی یا شکستگی ترسیم نمود.
این دستگاه برای مشخصه‌یابی شبه‌‌مواد و میکروساختارها زیر فشار یا استرس مناسب است.
