عرضه دستگاه لیتوگرافی برای استفاده در صنعت نانوالکترونیک

شرکت توسعه فناوری ریزمقیاس آژینه دستگاه نیمه‌اتوماتیک لیتوگرافی کامل را تولید و به بازار عرضه می‌کند. این دستگاه برای استفاده در ساخت مدارهای مجتمع، ابزارهای ذخیره اطلاعات، حسگرهای مینیاتوریزه شده، سیستم‌های میکروالکترومکانیک (MEMS) و نانوالکترومکانیک (NEMS) قابل استفاده است.

لیتوگرافی یکی از مهم‌ترین فرآیند‌های ساخت ادوات نیمه هادی به شمار می‌رود. در ‌لیتوگرافی، ابتدا طرحی از یک الگو بر روی ماسک تشکیل می‌شود و سپس آن طرح به ماده دلخواه جهت تولید محصول مورد نظر منتقل می‌شود. با کمک این روش می‌توان ساختارهایی با دقت و ابعاد نانومتری ساخت. فرآیند لیتوگرافی تا پیش از این یکی از مهم‌ترین گلوگاه‌ها در ساخت ادوات نیمه هادی در ایران بوده، اما در سال‌های اخیر شرکت آژینه محصولات متنوعی برای انجام فرآیند لیتوگرافی نوری تولید کرده است و گام بزرگی برای پیشرفت کشور در این زمینه برداشته است.

امروزه با رشد صنعت میکرو و نانوالکترونیک، ابعاد اجزا در این سیستم‌ها و به‌خصوص در مدارهای میکروالکترونیک به‌طور مداوم در حال کوچک شدن است. این پدیده می‌تواند مزایایی از جمله کاهش مصرف مواد اولیه و انرژی،کاهش قیمت تمام شده قطعات و مینیاتوریزه کردن قطعات را شامل شود. دستگاه نیمه‌اتوماتیک لیتوگرافی کامل شرکت آژینه می‌تواند به محققان و شرکت‌های داخلی در توسعه این نوع قطعات کمک شایانی کند.

علاوه‌بر دستگاه نیمه اتوماتیک لیتوگرافی کامل، شرکت توسعه فناوری ریزمقیاس آژینه دستگاه لیتوگرافی دیگری نیز دارد که به‌صورت رومیزی است. دستگاه تطبیق ماسک یک‌طرفه و دو‌طرفه از دیگر محصولات این شرکت در حوزه لیتوگرافی است.

شرکت آژینه در حوزه لایه‌نشانی از فاز مایع نیز فعالیت دارد به طوری که سامانه پوشش‌دهی و پخت را نیز تولید و به بازار عرضه کرده است.

شرکت توسعه فناوری ریز مقیاس آژینه شرکتی دانش‌بنیان در پارک علم و فناوری دانشگاه تهران است. این شرکت در سال ۱۳۹۰ با همکاری تعدادی از نخستین پژوهشگران و فارغ التحصیلان حوزه نانوالکترونیک تأسیس شد و  بر پایه دانش، توانایی و تخصص اعضای آن فعالیت خود را در جهت ارتقا سطح علمی کشور و تجاری‌سازی محصولات دانش‌بنیان آغاز کرد.

حوزه کاری شرکت توسعه فناوری ریزمقیاس آژینه طراحی، ساخت و تعمیرات دستگاه‌ها و تجهیزات مرتبط با ساخت و تست ادوات نیمه هادی و ادوات MEMS است. در حال حاضر این شرکت تجهیزات مورد نیاز فرایند لیتوگرافی را تولید می‌کند. محصولات این شرکت دارای گواهی ثبت اختراع هستند.