ارائه تراشه‌ای برای تحلیل ساختارهای لایه‌نازک سه‌بعدی

شرکت نوپای چیپمتریکس تراشه‌ای برای تست و آنالیز ساختارهای لایه‌نازک سه‌بعدی ارائه کرده است. این فناوری برای ساخت ادوات و ساختارهای نانومقیاس در صنعت قابل استفاده است.

تراشه تست پیرال‌هیل (PillarHall) برای تجزیه و تحلیل ساختارهای فیلم نازک سه‌بعدی به بازار عرضه شده ‌است. استارت‌آپ چیپمتریکس (Chipmetrics Oy)،که از VTT انشعاب یافته است، شروع به تجاری‌سازی این فناوری کرده است. این تراشه تست، امکان تولید ساختارها و قطعات نانومقیاس را امکان‌پذیر می‌کند.

این فناوری فرصت‌های جدیدی را برای توسعه نیمه‌هادی‌ها، مدارهای حافظه و دستگاه‌های هوشمند و غیره را فراهم می‌کند.

تولید و یکپارچه‌سازی سه‌بعدی‌، روندهای اصلی در صنعت نیمه‌هادی هستند، چرا که می‌توان از آن‌ها برای بهبود عملکرد و بازدهی انرژی ترانزیستورها و مدارهای حافظه استفاده کرد. ساختارها و مواد جدید در مقیاس میکرو و همچنین کوچک شدن قطعات، چالش‌هایی برای تولیدکنندگان نیمه‌هادی ایجاد کرده است؛ دلیل این امر، نیاز به تجهیزات پردازش، اندازه‌گیری و آزمایش برای سه بُعد است. پیرال‌هیل راه حل این چالش‌ها است.

هوش مصنوعی با همه چیز در هم آمیخته است و حمل و نقل هوشمند، مراکز داده و فناوری پزشکی، از جمله نقاطی است که هوش مصنوعی روی زندگی افراد تأثیرگذار بوده است. اکنون اجزای سازنده باید بیش از هر زمان دیگری قابل اطمینان باشند و برای این منظور به اندازه‌گیری و آزمایش بیشتری نیاز است. تراشه آزمایش پیرال‌هیل برای مقایسه‌ای سریع، قابل اعتماد و مقرون به صرفه فرآیندهای ساخت سازه‌های فیلم نازک مناسب است. می‌توان از آن برای اندازه‌گیری انطباق فرآیند فیلم نازک، یعنی توانایی پوشش‌دهی یک شیء سه‌بعدی به‌طور یکنواخت استفاده کرد.

میکو اوتریاینن از شرکت چیپمتریکس می‌گوید: «از این تراشه آزمایشی یک‌بار مصرف پیرال‌هیل می‌توان برای مقایسه فرآیندهای مختلف فیلم نازک سه‌بعدی و راکتورها استفاده کرد. این یک روش استثنایی است چرا که معمولا در اندازه‌گیری‌های رایج از ویفرهای پردازش شده و دستگاه‌های گران‌قیمت استفاده می‌شود در حالی‌که این تراشه فرآیند ساده و ارزانی هستند. از این تراشه می‌توان برای تسریع در توسعه فرآیند و همچنین نظارت بر تولید در آینده استفاده کرد.»

این تراشه محصول تخصص در حوزه لایه‌نشانی اتمی (ALD) در فنلاند و تجربه VTT در فرآیندهای تولید MEMS است.

این تراشه آزمایش توسط VTT و پیرو پروژه‌های تحقیقاتی مختلف از سال ۲۰۱۳ ساخته شده‌است.