با عبور صنعت نیمه‌هادی‌ها از فناوری ۶۵ نانومتر و کنترل برخی فرآیندها در تولید دستگاهها، قابلیت بزرگنمایی میکروسکوپ روبش الکترونی (SEM) افزایش می‌یابد. میکروسکوپ‌های الکترونی SEM و TEM متناوباً بزرگنمایی بالایی را فراهم کنند، اما در این میان تولیدکنندگان اصرار به استفاده از SEM دارند، زیرا استفاده از TEM نیازمند طی مراحل سخت آماده‌سازی نمونه است. البته دسترسی به بزرگنمایی بیشتر نیازمند کسب اطلاعات سه بعدی بیشتر است که در نهایت موجب پیچیدگی بیشتر دستگاه می‌شود.
تولید اقتصادی‌تر مبتنی بر TEM
با عبور صنعت نیمه‌هادی‌ها از فناوری ۶۵ نانومتر و
کنترل برخی فرآیندها در تولید دستگاهها، قابلیت بزرگنمایی میکروسکوپ روبش
الکترونی (SEM) افزایش می‌یابد. میکروسکوپ‌های الکترونی SEM و TEM متناوباً
بزرگنمایی بالایی را فراهم کنند، اما در این میان تولی
