محققان دانشگاه علم و صنعت هنگ کنگ (HKUST) به منظور متحول کردن صنعت نیمه‌هادی، اولین آرایه نمایشگر microLED اشعه ماوراء بنفش عمیق (UVC) را تولید کردند. این میکروال‌ای‌دی برای استفاده در ادوات لیتوگرافی ساخته شده است. این میکرو ال ای دی UVC با راندمان افزایش یافته در یک دستگاه فتولیتوگرافی بدون ماسک ارزان استفاده شد و چگالی توان خروجی نور کافی را به نمایش گذاشت. این ابزار امکان قرار گرفتن در معرض نور را در زمان کوتاه‌تری فراهم می‌کند.
