با همکاری صنایع سنگین میتسوبیشی، حسگر لایه نازک MEMS ساخته شده که به صورت چند جهته کار کرده و راندمان ماشینآلات سیالات در مقیاس صنعتی را بهبود میبخشد.
حسگر لایه نازک با قابلیت تشخیص همزمان فشار و دما
محققان با استفاده از لایههای بسیار نازک، حسگری ساختند که میتواند فشار و دما را بهصورت همزمان تشخیص دهد. این سامانه حسگری برای ساخت روباتهایی با ابعاد بسیار کوچک بسیار مناسب هستند.