بهتازگی محققانی از مرکز الکترونیک مجتمع و گروه فیزیک مؤسسه پلیتکنیک رنسلار، با همکاری شرکت پلیست موفق شدهاند پلیمر جدیدی بسازند که ارزان و زود خشکشونده است و میتواند باعث کاهش چمشگیر هزینهها، و افزایش بازده صنایع نیمهرسانا و تراشههای رایانهای گردد.
بهبود و ارتقا در ساخت و مونتاژ نیمهرساناها به کمک یک پلیمر جدید
بهتازگی محققانی از مرکز الکترونیک مجتمع و گروه فیزیک مؤسسه پلیتکنیک این ماده جدید که پلیست اپوکسی سیلوکسان(polyset epoxy siloxane or PES) تامینگ لو، پروفسور فیزیک در رنسلار که سرپرستی تحقیقات را بر عهده دارد، در عمومیترین شکل فوتولیتوگرافی، در یکی از مراحل فرایند، یک لایه پلیمر پلیمر جدید نسبت به پلیمر های معمول موجود در صنعت نیمهرسانا مزایایی امروزه سازندگان، عموماً از بنزوسایکلوبوتان و پولیمید بهعنوان پلیمرهای علاوه بر کاربردهای مذکور، PES دارای کاربردهای بالقوهای مانند ابزارهای جزئیات این بررسی در نشریه Journal of Vacuum Science and Technology B |