دستاوردی جدید در زمینه نانولیتوگرافی

محققان دانشگاه ام آی تی، به دستاوردی مهم در زمینه نانولیتوگرافی رسیده‌اند که به کمک آن می‌توان الگوهایی ریزتر(خطوطی به اندازه ۲۵ نانومتر که به فاصله ۲۵ نانومتر از هم قرار گرفته‌اند) را در سطحی وسیع ایجاد کرد. این روش در نسل آینده حافظه‌های رایانه‌ای و تراشه‌های مدارهای مجتمع و پیل‌های خورشیدی پیشرفته و سایر دستگاه‌ها کاربرد خواهد داشت.

محققان دانشگاه ام آی تی، به دستاوردی مهم در زمینه نانولیتوگرافی رسیده‌اند که به
کمک آن می‌توان الگوهایی ریزتر(خطوطی به اندازه ۲۵ نانومتر که به فاصله ۲۵ نانومتر
از هم قرار گرفته‌اند) را در سطحی وسیع ایجاد کرد. این روش در نسل آینده حافظه‌های
رایانه‌ای و تراشه‌های مدارهای مجتمع و پیل‌های خورشیدی پیشرفته و سایر دستگاه‌ها
کاربرد خواهد داشت.

محققان در این روش ـ که لیتوگرافی تداخلی(IL) نام دارد و در واقع شکل دیگری از
لیتوگرافی تداخلی روبش پرتو(SBIL) است ـ با بهره گیری از یک نانوخط‌کش و امواج صوتی
با فرکانس MHZ 100، موفق شدند الگوهای ریز قابل تکراری را به شکلی کنترل‌شده و سریع
در یک سطح بسیار وسیع ایجاد نمایند. با توجه به بازدهی بالا و هزینه کم این شیوه،
استفاده از آن می‌تواند به تجاری‌سازی بسیاری از اختراعات فناوری‌نانو منجر شود.

این نخستین بار است که ازSBIL به این منظور استفاده می‌شود و به این ترتیب امکان
کنترل فرایندهای تصویربرداری لیتوگرافی فراهم می‌‌گردد. گفتنی است نتایج این تحقیق
در نشریه Optic letters منتشر شده‌است.