مبانی پایه ای نانومترولوژی مهندسی

نویسنده (ها) : Richard Leach
شماره شابک: ۰۰۸۰۹۶۴۵۴۰
تعداد صفحات: ۳۵۲
تاریخ انتشار: ۲۰۰۹
انتشارات: William Andrew
قیمت: ۱۴۹ دلار

مبانی مترولوژی مهندسی که در مقیاس نانو و میکرو قابل استفاده است، برای دانشمندان
و مهندسینی که در تجاری‌سازی فناوری نانو و روش‌های اندازه‌گیری کار می‌کنند و نیاز
به دقت در مقیاس نانو دارند، بسیار ضروری است.
ایجاد استانداردهای مشترک و عمومی، یکی از پیش شرط‌های استفاده از پتانسیل‌های
تجاری فناوری‌های نانو و میکرو (MNT) است. وجود این استانداردها، امکان تبادل قطعات،
بسته‌بندی‌ها و قوانین طراحی بین شرکت ها و کارخانجات را فراهم می‌کند.
استانداردسازی موثر میکرو و نانو ما را قادر می‌سازد تا بتوانیم برای پیچ و مهره ها
و آجرهای ساختمانی در مقیاس ماکرو، معادل‌هایی در مقیاس میکرو و نانو ایجاد کنیم.
در حال حاضر تلاش فراوانی برای استانداردسازی فعالیت‌های میکرو و نانو انجام می شود
، که ایجاد کمیته‌های ISO، IEO و کمیته‌های ملی و منطقه‌ای از نشانه های آن است.

در این کتاب پروفسور Richard Leach از آزمایشگاه ملی فیزیک انگلستان (NPL)، و یکی
از فعالان حوزه ی استانداردسازی نانو، مبانی مترولوژی مهندسی را به مقیاس‌های میکر
و نانو بسط داده است؛ البته با تمرکز بر روی مترولوژی ابعاد و جرم.
مبانی و روش‌های ارائه شده در این کتاب، منبع ارزشمندی برای دانشمندان و مهندسانی
است که در زمینه تجاری‌سازی فناوری نانو و روش‌های اندازه‌گیری کار می‌کنند.
مطالب اساسی ارائه شده در این کتاب عبارتند از:
• ادبیات (“terminology”) مترولوژی و مطالب بسیار مهم در زمینه اندازه‌گیری‌های
غیرمطمئن
• دستگاهوری (“Instrumentation”) به همراه مقدمه‌ای بر لیزر
• اندازه‌گیری طول با استفاده از اینترفرومتری (“interferometry”) نوری
• حسگرهای تشخیص و اندازه‌گیری جابه‌جایی و تغییر مکان
• اندازه‌گیری بافت سطحی، ابزار اندازه‌گیری سوزنی، نوری، پروب روبشی، کالیبراسیون،
مشخصه‌یابی پروفایل و مساحت
• مترولوژی معادل (“Coordinate metrology”)
• مترولوژی نیرو و جرم

فهرست مطالب
۱- مقدمه‌ای بر مترولوژی فناوری نانو و میکرو
۲- معرفی چند اصل اندازه‌گیری
۳- ابزارهای اندازه‌گیری دقیق: اصول طراحی
۴- امکان انددازه گیری طول با استفاده از اینترفرومتری
۵- اندازه‌گیری تغییر مکان
۶- ابزارهای اندازه‌گیری توپوگرافی سطح
۷- میکروسکوپ پروب روبشی و میکروسکوپ پرتو ذرات
۸- مشخصه‌یابی توپوگرافی سطح
۹- مترولوژی معادل
۱۰- اندازه‌گیری جرم و نیرو