ساخت حسگرهای فشار به کمک نانوسیم‌ها

مطالعات انجام شده نشان داده‌اند که نانوسیم‌ها به‌دلیل اندازه کوچک می‌توانند
اثرات مقاومت پیزوی بالایی داشته باشند. برای رسیدن به این مزیت، محققان به کمک
روش‌های فرآوری پیشرفته مواد دو نانوسیم سیلیکونی را بین دو الکترود روی یک بستر
عایق قرار دادند. سپس آنها را با سیلیکون آمورف پوشش داده و در نهایت به یک
دیافراگم مدور که یک غشای دولایه از نیترید سیلیکون و دی‌اکسید سیلیکون است متصل
کردند. هر تنش یا فشار به این دیافراگم به ساختار نانوسیمی انتقال می‌یابد.

این سیستم حسگر به‌وسیله عبور جریان کنترل شده‌ای از هوا از اطراف آن امتحان شد. یک
آمپرمتر جریان عبوری از سیستم را نسبت به پتانسیل الکتریکی اعمال شده به دو الکترود
اندازه‌گیری کرد. همچنین یک ولتاژ اضافی بین یکی از الکترودها و گیت اعمال شد. با
معکوس کردن این ولتاژ حساسیت فشار تا ۴ برابر افزایش می‌یابد. این امر می‌تواند
به‌واسطه محدودیت الکترونهای درون مجاری نانوسیمی باشد. این سیستم می‌تواند گام
امیدبخشی به‌سوی کاربردهایی که نیاز به حسگرهای فشار با ابعاد بسیار کوچک دارند،
باشد.