اگر ساختاری مشابه گرافن ایجاد شود بهطوری که بهجای کربن، سیلیکون در آن قرار داشته باشد، به آن سیلیکن گفته میشود. یک ساختار ورقهای به ضخامت یک اتم از جنس سیلیکون. یک تیم تحقیقاتی از موسسه علوم و فناوری ژاپن موفق به ایجاد سیلیکن روی ویفر سیلیکونی شده است. این گروه از لایه بافر دیبرمید زیرکونیوم که یک ماده سرامیکی است استفاده کردند.
رشد سیلیکن روی ویفر سیلیکونی
اگر ساختاری مشابه گرافن ایجاد شود بهطوری که بهجای کربن، سیلیکون در آن قرار داشته باشد، به آن سیلیکن گفته میشود. یک ساختار ورقهای به ضخامت یک اتم از جنس سیلیکون. یک تیم تحقیقاتی از موسسه علوم و فناوری ژاپن موفق به ایجاد سیلیکن روی ویفر سیلیکونی شده است. این گروه از لایه بافر دیبرمید زیرکونیوم که یک ماده سرامیکی است استفاده کردند. در سال ۱۹۹۴ محققان با استفاده از تحقیقات نظری به بررسی ساختار پایدار نتایج این تحقیق در قالب مقالهای تحت عنوان Experimental Evidence for
|
این گروه با استفاده از خلاء و دمای بسیار بالا سیلیکن را روی فیلم سرامیکی ZrB2 رشد دادند. این فیلم دارای ساختار شبکهای متناسب با سیلیکن بوده و روی ویفر سیلیکونی قرار گرفته است. فیلم دی برمید با استفاده از گاز برموهیدرید زیرکونیوم در دمای بالا ایجاد میشود. زمانی که این فیلم در دمای اتاق سرد میگردد سیلیکن ایجاد میشود. در واقع اتمهای سیلیکون از ویفر خارج شده و بهدرون فیلم دیبورید نفوذ میکند با این کار لایه نازکی سیلیکن ایجاد میشود. نتایج این پروژه نشان داد که میتوان بهصورت تکرارپذیر سیلیکن را روی ویفر
|