پژوهشگران دانشگاه ایلینویز موفق به ارائه روش ارزان قیمتی شدند که با استفاده از آن میتوان سطوح نیمههادیها را اچ کرد. برای این کار از نور استفاده شده است. گابریل پوپسکو از محققان این پروژه میگوید شما میتوانید از نور برای توپوگرافی استفاده کنید بنابراین نور میتواند برای اچ کردن نیمههادیها نیز استفاده شود.
اچ کردن و رصد همزمان نیمههادیها با استفاده از نور
پژوهشگران دانشگاه ایلینویز موفق به ارائه روش ارزانقیمتی شدند که با استفاده از آن میتوان سطوح نیمههادیها را اچ کرد. برای این کار از نور استفاده شده است. گابریل پوپسکو از محققان این پروژه میگوید شما میتوانید از نور برای توپوگرافی استفاده کنید بنابراین نور میتواند برای اچ کردن نیمههادیها نیز استفاده شود. سازندگان تراشهها باید در هنگام تولید تراشهها با دقت بالایی ابعاد آنها
|
در این سیستم، تفاوت میان ارتفاع دو بخش از نمونه با استفاده از انعکاس نور تعیین میشود. با تعیین این تفاوت ارتفاع، میتوان نرخ اچ کردن را تعیین کرد. در واقع این که محققان میتوانند سطح را در حین اچ کردن رصد کنند مزیت اصلی این پروژه است. با این کار سازندگان میتوانند سرعت اچ کردن را در هر بخش از نمونه تنظیم کرده و به محصول دلخواه برسند. این روش جدید سریعتر، کم هزینهتر و کم نویزتر از روشهایی نظیر میکروسکوب در این روش نور خود بهعنوان یک کاتالیزور فرآیند اچ کردن را تسریع میکند
|