وجود عیوب ساختاری در قطعات الکترونیکی دغدغه بزرگ تولیدکننده ادوات الکترونیکی است. شرکت کی ال ای-تنکور دستگاه جدیدی به بازار عرضه کرده که قادر است با سرعت بالا این نقص‌های نانومقیاس را شناسایی کند.
ابزاری برای شناسایی سریع عیوب ساختاری نانومقیاس
شرکت کی ال ای-تنکور (KLA-Tencor Corporation) دستگاه جدیدی را برای بررسی عیوب موجود در سطح ویفر ارائه کرده است. این دستگاه با نام تجاری NanoPoint™ با استفاده از پرتو الکترونی قادر به بررسی سطح نمونه است. یکی از نیازهای تولیدکننده‌های IC در جهان، شناسایی نقص‌ها در سطح قطعات است. این دستگاه قادر است سطوح موردنظر تولیدکنندگان را مورد بررسی قرار داده و با دقت بسیار بالایی نقص‌های آن را مشخص کند. در مدل ۲۹۱۰ که اخیرا به بازار عرضه شده بخش شناسایی نقص، بهبود یافته و فناوری eDR-7100 موجب افزایش قدرت تفکیک آن شده است. بنابراین، این دستگاه شرایط تصویربرداری از نقص‌ها در ساختار سه بعدی را فراهم می‌کند.
بابی بل از مدیران این شرکت می‌گوید: مشتریان ما نیاز به فرآیندی سریع برای بررسی الگوهای پیچیده و یافتن نقص در آنها را داشتند. از این رو ما به ارائه فناوری مبتنی بر پرتو الکترونی و نوری پرداختیم و در نهایت مدل ۲۹۱۰ را به بازار عرضه کردیم که قادر است نقص‌های ساختاری را با سرعت بالایی شناسایی کند. در این دستگاه فناوری eDR7100 به کار گرفته شده که می‌تواند نقص‌های بسیار کوچک را با دقت بالایی شناسایی کند، نقص‌هایی که با چشم غیرمسلح قابل دیدن نبوده و حتی با ابزارهای دیگری که مجهز به پرتو الکترونی است نیز قابل مشاهده نیستند. در واقع با به کارگیری دو فناوری مختلف در این دستگاه می‌توان با قدرت تفکیک بالا به شناسایی و بازرسی محصولات پرداخت.
این شرکت فناوری‌های به کار رفته در این دستگاه را به صورت پتنت به ثبت رسانده است. برخی از این پتنت‌ها مربوط به روزنه‌های نوری (اپرچر) و مودهای بازرسی است که موجب افزایش قابلیت‌های دستگاه شده است به طوری که می‌توان حفره‌ها و پل‌های ایجاد شده در سطوح را شناسایی کرد.
این مدل نسبت به نسل قبلی، مدل ۲۹۰۰، بهبودهای قابل توجهی داشته است. برای مثال می‌توان تعداد نمونه بیشتری را درون دستگاه قرار داد. همچنین سرعت فرآیند شناسایی بهبود یافته است.
درباره شرکت KLA-Tencor
این شرکت با قدمت ۳۵ سال، یکی از پیشروان تولید ادوات در بخش صنعت نیمه‌هادی است. فناوری‌های ارائه شده توسط این شرکت در بخش تولید LED و نانوالکترونیک کاربرد دارد. جهت کسب اطلاعات بیشتر به آدرس http://www.kla-tencor.com مراجعه شود.
