شرکت آلمانی اولتراتک (Ultratech) که در شهر درسدن قرار دارد، اخیراً دستگاه لایهنشانی جدیدی به بازار عرضه کرده که میتواند علاوه بر لایهنشانی اتمی، به طور همزمان لایههای تشکیل شده را مشخصهیابی کند.
رونمایی از دستگاه لایهنشانی اتمی با امکان تعیین مشخصات
اولتراتک (Ultratech) یکی از شرکت پیشرو در زمینه تولید دستگاههای لایه نشانی و لیتوگرافی است. این شرکت اخیراً دستگاه لایهنشانی اتمی (ALD) موسوم به Savvana G2 را رونمایی کرده است. اولین نسخههای دستگاه Savvana در سال ۲۰۰۴ به بازار عرضه شد که از آن زمان به عنوان یکی از تجهیزات لایه نشانی تجاری در بخش تحقیق و توسعه شرکتها به کار گرفته میشود.
نسل جدید این دستگاه، G2، بهینهسازی شده و گزینههای جدیدی به خدمات آن افزوده شده است. برای مثال امکان تعیین مشخصات نمونههای لایه نازک به صورت زنده (real time) با این دستگاه وجود دارد. در میان قابلیتهای این دستگاه، سیستم رهاسازی پیشماده با فشار کم وجود دارد که میتوان با استفاده از آن فیلمهای تک جزئی یا چند جزئی را از عناصر خاکهای نادر تولید کرد. همچنین وجود ادوات جانبی نظیر بیضیسنجی، میکروبالانس بلور کوارتز (QCM) و طیفسنجی جرمی موجب میشود تا امکان رشد خودبهخودی و تعیین مشخصات لایه رشد یافته به صورت زنده امکانپذیر شود.
گانش ساندارام از مدیران این شرکت میگوید: «مدل ۴۰۰ALD در بیش از ۸۰۰ مقاله مختلف چاپ شده در جهان مورد استفاده قرار گرفته است، بنابراین میتوان گفت شرکتها، دانشگاهها و مراکز دولتی مختلفی از این دستگاه برای پیشبرد تحقیقات خود استفاده کردهاند.»
اولتراتک در سال ۱۹۷۹ تأسیس شده و در حوزههای نیمههادی و فناوری نانو اقدام به تولید تجهیزات مختلف کرده است. این شرکت یکی از مراکز پیشرو در تولید ادوات لیتوگرافی بوده و دستگاههای مختلفی برای صنایع نیمههادی تولید کرده است.
