شرکت سنسوفار ابزار دقیقی برای تعیین مشخصات تغییرات انجام شده روی سطح در مقیاس نانومتری در اثر تغییرات دما ارائه داده است. این ابزار برای مطالعه مورفولوژی سطح و اصلاحات سطحی انجام شده در اثر تغییر دما مناسب است.
مشخصه‌یابی تغییرات سطح در اثر دما در مقیاس نانومتری
سنسوفار (Sensofar)، یک شرکت فناور، متخصص در زمینه اندازه‌گیری سطح به‌صورت غیرتماسی است. این شرکت روش جدیدی برای مشخصه‌یابی تغییرات توپوگرافی سطح نمونه با درجه حرارت با استفاده از پروفایل نوری S neox 3D و تداخل‌سنج Linnik همراه با محفظه کنترل دما LTS420 Linkam ایجاد کرده است. از این روش برای نقشه‌برداری موفقیت تغییرات زبری و موج‌دار بودن ویفرهای سیلیکونی در دمای حداکثر ۳۸۰ درجه سانتیگراد استفاده شده است.
پروفیلومتری نوری یک روش اندازه‌گیری غیرمخرب، بدون تماس و سریع سطح است که برای تعیین مورفولوژی سطح، ارتفاع پله‌ها و زبری سطح مواد استفاده می‌شود. از این فناوری در طیف گسترده‌ای از کاربردها در بسیاری از زمینه‌های تحقیقاتی شامل تجزیه و تحلیل بافت و پوشش‌ها، تجزیه و تحلیل ترک‌های ریز و خراش‌ها و ایجاد سایش برای مواد مختلف از جمله میکرو الکترونیک و تعیین مشخصات مواد در مقیاس نانومتری استفاده می‌شود.
معمولا انجام آزمایش‌های پروفیلومتری نوری کنترل‌شده با دما به‌دلیل مشکلات تصویربرداری ناشی از تغییر در انحراف کروی با دمای دشوار است.
با استفاده از سیستم جدید عدسی تداخل‌سنج Linnik با پروفیلر نوری S neox 3D و همچنین استفاده از محفظه کنترل دمای دقیق LTS420، مشکلات انحراف کروی حل شده و امکان اندازه‌گیری دقیق توپوگرافی سه‌بعدی مواد در مقیاس نانو در طیف گسترده‌ای از دماها فراهم می‌شود.
دیوید پائز، متخصص پشتیبانی فروش سنسوفار می‌گوید: «در آزمایش اخیر با استفاده از این روش جدید، ما توانستیم تغییرات توپوگرافی ویفرهای سیلیکونی را که با دمای ۲۰ تا ۳۸۰ درجه سانتیگراد ایجاد می‌شوند، مشاهده کنیم. این روش اطلاعات مهمی برای تولیدکنندگان و کاربران ویفر سیلیکونی ارائه می‌دهد، به طوری که آن‌ها می‌توانند روندهای خود را بهینه کنند، ویژگی‌های نیمه هادی و دوام ویفر را بهبود بخشند. محفظه Linkam LTS420 و کنترل‌کننده دمای T96 از اجزای اصلی این روش هستند و به ما امکان می‌دهند تا دما را بین ۱۹۵- درجه و ۴۲۰ درجه سانتیگراد با دقت ۰٫۰۱ درجه سانتیگراد کنترل کنیم.»
رابرت گورنی، متخصص برنامه‌های کاربردی Linkam می‌گوید: «ما برای دهه‌ها امکان کنترل دقیق دما و شرایط محیط را برای طیف گسترده‌ای از روش‌ها، از میکروسکوپی تا تجزیه و تحلیل اشعه X ارائه داده‌ایم. این همکاری نقش مهم کنترل دما را در کمک به رویکردهای نوآورانه برای تعیین مشخصات مواد برجسته می‌کند. ما بسیار خرسندیم که به لطف تداخل‌سنج Linnik می‌توانیم راه حلی مفید برای پروفیلومتری کنترل شده دما ارائه دهیم و ما مشتاقانه منتظریم ببینیم که چگونه این روش جدید به محققان در بسیاری از زمینه‌های علمی برای پیشرفت تحقیقات و دانش خود کمک می‌کند.»
