گروه EVG ، تامین‌کننده پیشرو در زمینه اتصال ویفر و تجهیزات لیتوگرافی برای بازارهای MEMS، فناوری نانو و نیمه هادی‌ها، اعلام کرد که همکاری خود را با موسسه تحقیقات فناوری صنعتی (ITRI)، یکی از پیشروترین مراکز تحقیقات فناوری کاربردی در جهان، گسترش داده است.
به اشتراک‌گذاری تجهیزات لیتوگرافی و لایه‌نشانی برای توسعه قطعات نیمه‌هادی پیشرفته
با حمایت دپارتمان فناوری صنعتی (DoIT) در وزارت امور اقتصادی (MOEA)، ITRI ائتلاف یکپارچگی ناهمگن سیستم بسته‌بندی تراشه‌های ناهمگون (Hi-CHIP) را ایجاد کرد. با آغاز به کار آزمایشی، این مرکز به دنبال دستیابی به هدف بومی سازی زنجیره تأمین و گسترش فرصت‌های تجاری است.
EVG به عنوان عضوی از ائتلاف Hi-CHIP ، چندین مورد از پیشرفته‌ترین سیستم‌های پیوند ویفر و لیتوگرافی خود را برای استفاده در این ائتلاف ارائه کرده است، که از آن جمله می‌توان به سیستم لیتوگرافی نوردهی بدون ماسک LITHOSCALE®، سیستم جداسازی خودکار EVG®۸۵۰ DB و سیستم پیوند هیبریدی GEMINI®FB اشاره کرد. نصب این پلتفرم‌های تولیدی با حجم بالا در مرکز پیشرفته ITRI به مشتریان مشترک EVG و ITRI کمک می‌کند تا توسعه و انتقال فرآیندهای یکپارچه‌سازی ناهمگن جدید از R&D به کارخانه‌های مشتریان را تسریع کنند.
در تولید قطعات نیمه هادی، انباشت عمودی و سه‌بعدی و ادغام ناهمگن قطعات، ساخت، مونتاژ و بسته بندی چندین جزء مختلف و قالب‌ها در یک دستگاه برای عملکرد بالاتر و فراتر از مقیاس ترانزیستور اهمیت فزایند‌ای دارند. ادغام سه بعدی و ناهمگن، اتصالات با پهنای باند بالا را در بسته بندی‌های پیشرفته برای دستیابی به دستاوردهای عملکرد کلی سیستم امکان پذیر می‌کند. بنابراین این فناوری به یک محرک مهم برای هوش مصنوعی (AI)، خودروهای خودران و سایر برنامه‌های محاسباتی با کارایی بالا تبدیل شده است. برای نیل به این هدف، MOEA به طور فعال منابع خود را در پروژه‌های R&D در مقیاس ملی مانند “پلتفرم ساخت پیشرفته ماژول یکپارچه ناهمگن تراشه هوش مصنوعی” و “یکپارچه سازی سه بعدی ناهمگن قابل برنامه‌ریزی” صرف می‌کند.
دکتر رابرت (وی-چانگ) لو، معاون مدیر کل آزمایشگاه‌های تحقیقاتی سیستم‌های الکترونیکی و نوری در ITRI، می‌گوید: «به عنوان بخشی از ماموریت ITRI برای هدایت توسعه صنعتی، ایجاد ارزش اقتصادی و افزایش رفاه اجتماعی از طریق تحقیق و توسعه فناوری، ما بر توسعه فرآیندهای یکپارچه‌سازی تراش‌های سه بعدی و ناهمگن جدید و ایجاد همکاری نزدیک در سراسر زنجیره تامین برای ایجاد امکان توسعه و رشد مداوم صنعت نیمه هادی تمرکز کردیم. داشتن همان سیستم‌های کاملاً خودکار تولید با حجم بالا در مرکز تحقیقاتی ما که مشتریان ما در کارخانه‌های خود دارند، از جمله این راه‌حل‌های جدید اتصال ویفر و لیتوگرافی از گروه EV، به مشتریان ما این امکان را می‌دهد تا به سرعت دستور‌العمل‌های فرآیند توسعه‌یافته در ITRI را به کارخانه‌های خود منتقل کنند.»
