Beneq و مرکز میکروالکترونیک Micronova توافق کردند که با تحویل راکتور رسوب دهی لایه اتمی (ALD) 500 TFS همکاری دراز مدتی، با هدف بررسی و توسعه دامنه وسیعی از فناوریهای مربوط به لایه نازک، ترمیم سطح و کاربردهای آن آغاز کنند.
امضای قرار داد همکاری بلند مدت Micronova و Beneq