گرافن موجب بهبود عملکرد نانولیتوگرافی صنعتی می‌شود

گرافن موجب بهبود عملکرد نانولیتوگرافی صنعتی می‌شود

یک شرکت کره‌ای قصد دارد تا با استفاده از گرافن لیتوگرافی فرابنفش شدید (EUV) را توسعه می‌دهد. این شرکت ماده‌ای ارائه کرده است که انتظار می‌رود عملکرد تجهیزات لیتوگرافی فرابنفش شدید شرکت ASML را بهبود دهد. ASML یک شرکت تجهیزات نیمه‌هادی هلندی است.

298