ابزاری برای رشد تکرارپذیر ساختارهای نانولوله‌ای کربنی

در نمایشگاه پائیزی MRS، دکتر گوان یو چن دانشمند اصلی Surrey NanoSystems
در دسترس خواهد بود تا درباره تنظیمات این ابزار برای کاربردهای تجاری و
پروژه‌های تحقیقاتی توضیحات لازم را ارائه کند.

دکتر گوان یو چن می‌گوید: «در این مراحل اولیه چرخه استفاده تجاری مواد
نانولوله‌ای کربنی جدید، نیاز به یک بنیان پایدار برای تولید نمونه‌ها و
ساختارهای جدید به صورت تکرارپذیر کاملاً ضروری است. این ابزار منحصر به
فرد ما ضمن دارا بودن این قابلیت، انعطاف‌پذیری لازم برای استفاده در زمینه‌های
اختصاصی را دارا می‌باشد. ویژگی ذاتی این ابزار امکان کنترل اتوماتیک تمام
جنبه‌های سنتز نانومواد، از تولید کاتالیزور تا فراوری ماده نهایی را برای
کاربر ایجاد می‌کند».

او ادامه می‌دهد: «من می‌توانیم درباره روش‌های فراوری و نتایجی که شرکت ما
در نتیجه توسعه همکاری خود با موسسه مواد پیشرفته دانشگاه Surrey به دست
آورده است، به اضافه موافقت‌نامه‌هایی که به صورت موازی با یکی از
آزمایشگاه‌های تحقیقاتی اصلی اروپا داریم، توضیح بدهم. این آزمایشگاه
تحقیقاتی خدمات تستی مستقلی جهت بررسی روش‌های فراوری منحصر به فرد ما در
اختیارمان قرار می‌دهد».

اولین ابزار این شرکت NanoGrowth 1000n می‌باشد که قابلیت فراوری CVD و
PECVD را نیز دارد. این دو روش، قابلیت فراوری وسیعی در اختیار کاربر قرار
می‌دهند. تکرارپذیری تنظیم و ساخت دقیق، هسته اصلی معماری این ابزار می‌باشد
که توسط مهندسانی با سال‌ها تجربه در زمینه ساخت ابزارهای فیلم نازک برای
تحقیقات علمی و تولید تجاری توسعه یافته است. از جمله امکانات کیفیت-محور
این ابزار، یک سیستم رهایش گاز با خلوص بسیار بالا و سیستم‌های کنترل
مداربسته انعطاف‌پذیر می‌باشند که به کاربر امکان تعریف میزان تحمل هدف را
برای به دست آوردن سطح بالایی از تکرارپذیری در طول تمام فازهای فرایند
ایجاد می‌کند.

از جمله امکانات این ابزار، امکان استفاده از روش‌های فراوری بیشتر همانند
ICP، منابع اسپاتر دوگانه برای رسوب‌دهی کاتالیزور (که شامل یک مدول برای
رهایش کاتالیزورهای فاز بخار همانند فروسن می‌باشد)، و مدول‌هایی برای
اضافه کردن مراحل فرایند جهت تولید اتوماتیک و با سرعت بالا می‌باشد.