پرتوهای EUV به‌دلیل داشتن طول موج کوتاه (در حد پنج و ۵۰ نانومتر یا چیزی بین یک دهم تا یک صدم طول موج نور مرئی)، کاربرد فراوانی در حکاکی الگوهای ریز نانومقیاس و طیف‌نگاری دارند. ابزارهایی که تاکنون برای تولید این پرتوها مورد استفاده قرار می‌گرفت با توجه به تقویت‌کننده‌های حجیم و گرانی که داشتند، بسیار جاگیر بوده، اندازه آنها به دو الی سه متر می‌رسید.
ساخت نخستین نانوچشمه EUV
|
پرتوهای EUV به‌دلیل داشتن طول موج کوتاه(در حد پنج و ۵۰ نانومتر یا چیزی بین یک دهم تا یک صدم طول موج نور مرئی)، کاربرد فراوانی در حکاکی الگوهای ریز نانومقیاس و طیف‌نگاری دارند. ابزارهایی که تاکنون برای تولید این پرتوها مورد استفاده قرار می‌گرفت با توجه به تقویت‌کننده‌های حجیم و گرانی که داشتند، بسیار جاگیر بوده، اندازه آنها به دو الی سه متر می‌رسید. اخیراًٌ محققان کره‌ای موفق شدند تا با استفاده از نانوساختارهای آنتنی این ابزار جدید در تصویربرداری‌های دقیق زیستی، ایجاد الگوهای همینک تحقیقات برای یافتن روش‌هایی، مثل استفاده از ساختارهای مخروطی |
