ستاد ویژه توسعه فناوری نانو

همکاری برای ساخت حسگر فشاری با دقت نانومتری

شرکت فنلاندی اسکن‌نانو قرار است دو فناوری جدید خود را برای تولید حسگرهای فشاری در اختیار شرکت ایتالیایی ال‌فاندری قرار دهد. دقت این دستگاه جدید در محدوده نانومتری بوده و از آن می‌توان در صنایع مختلف نظیر خودروسازی استفاده کرد.

شرکت اسکن‌نانو (Scannano) همکاری مشترک درازمدتی با شرکت ال‌فاندری (LFoundry) برای استفاده از فناوری‌ نانو شرکت اسکن‌نانو در محصولات مختلف آغاز کرده است. در گام اول این همکاری، از فناوری‌ نانو در حسگرهای فشاری مبتنی بر MEMS استفاده خواهد شد.
در این همکاری مشترک، قرار است از فناوری‌های شکاف خلاء بالا (DVG) و نانوفناوری غشاء شرکت اسکن‌نانو برای ساخت حسگرهای فشاری با دقت بالا، حجم کم و مصرف انرژی پایین استفاده کرد. این حسگرهای چندکاره می‌توانند به همراه مدارات متجمع ویژه (ASIC) روی تراشه‌های CMOS قرار گیرند.
با استفاده از فناوری DVG می‌توان شکاف خلاء بسیار کوچکی با دقت تقریبی یک نانومتر ایجاد کرد. این شکاف با غشاء حسگری ترکیب شده تا فشار وارد شده روی غشاء را اندازه‌گیری کند. از آنجایی که تغییر شکل در محدوده‌های نانومتری اتفاق می‌افتد، می‌تواند دقت بالایی در این سیستم ایجاد کند. از سوی دیگر به دلیل مصرف پایین انرژی، این حسگر را می‌توان با ادوات دیگر روی یک تراشه ترکیب کرد.
این حسگر فشاری جدید می‌تواند در بیش از 100 دستگاه در صنایع مختلف نظیر خودروسازی مورد استفاده قرار گیرد. یکی از مصارف این سیستم در به کارگیری آن در بخش ایمنی خودرو است. حسگر شناسایی تصادف و حسگر تشخیص باد لاستیک از دیگر مصارف این حسگر جدید است. در صنایع مختلف می‌توان از آن به عنوان ابزار شناسایی جریان گاز، سیستم جبران ارتفاع و ابزار هواشناسی استفاده کرد.
این حسگر قرار است در کارخانه ال‌فاندری ایتالیا تولید شود. ال‌فاندری یکی از تولیدکنندگان حسگرهای CMOS است. اسکن‌نانو نیز یکی از شرکت‌های فناوری‌ نانو کشور فنلاند است.