شرکت اولتراتک کمبریج نانوتک نسل جدید تجهیزات لایهنشانی اتمی خود را به دانشگاه ملی تایوان فروخته است. محققان این دانشگاه قصد دارند با این ابزار، مواد پیشرفته در بخش نانوالکترونیک و نانوفتونیک تولید کنند. این شرکت همکاری طولانی مدتی با دانشگاه ملی تایوان د
همکاری مشترک با دانشگاه برای توسعه تجهیزات لایهنشانی
شرکت اولتراتک کمبریج نانوتک (Ultratech Cambridge Nanotech) یکی از شرکتهای پیشرو در حوزه ساخت تجهیزات لیتوگرافی، پردازش لیزری و سیستمهای بازرسی است. این شرکت در بخش تولید سیستمهای لایهنشانی اتمی (ALD) نیز فعالیت دارد.
اولتراتک اعلام کرده است که آزمایشگاه نانوفتونیک و نانوالکترونیک دانشگاه ملی تایوان سیستم Fiji G2 این شرکت که یک سامانه ALD است را سفارش داده است. این دانشگاه قصد دارد از این فناوری برای انجام تحقیقات خود استفاده کند. این آزمایشگاه در دانشگاه ملی تایوان همکاری مشترکی نیز با شرکت اولتراتک دارد به طوری که در بخش تحقیقات به این شرکت کمک کرده و در صورتی که مشتریان این شرکت قصد بازدید از تجهیزات اولتراتک را داشته باشند، میتوانند به این آزمایشگاه مراجعه کنند.
در حال حاضر تجهیزات ALD متعددی از شرکت اولتراتک توسط این دانشگاه خریداری شدهاست. مین جانگ چن از محققان این دانشگاه میگوید: « ما در حال برنامهریزی برای استفاده از این دستگاه جدید هستیم تا از آن برای تولید مواد جدیدی استفاده کنیم، موادی که با استفاده از سیستمهای ALD استاندارد قابل تولید نیستند. ما درصدد استفاده از مزیتهای گزینه کار در فشار کم در این دستگاه جدید هستیم تا از آن برای تولید مواد سه گانه و چهارگانه استفاده کنیم. با این فناوری میتوان اپیتاکسی لایه اتمی از جنس نیتریدهای گروه III، نانوساختاری فلزی برای پلاسمونیک و پراش رامان بهبود یافته سطحی، مواد فلزی پیشرفته و خازنهای فروالکتریک برای استفاده در نانوالکترونیک تولید کرد. ما در طول ۸ سال گذشته با تجهیزات ALD این شرکت کار کردهایم و این تجهیزات را ابزارهای تحقیقاتی بسیار جالبی میدانیم. ما قصد داریم این همکاری مشترک را ادامه داده و طی سالهای آتی نیز از ابزارهای این شرکت استفاده کنیم.»
گانش ساندارام از مدیران شرکت اولتراتک میگوید: « ما همکاری دراز مدتی با این دانشگاه داریم به طوری که تجهیزات ALD ما توسط محققان این دانشگاه مورد استفاده قرار میگیرد. ما از این که مورد توجه محققان این دانشگاه هستیم بسیار خرسندیم. این همکاری مشترک میتواند به ما کمک کند تا براساس نیاز محققان، تجهیزات جدیدتری تولید کنیم.»
