عرضه دستگاه رصد نانوذرات سیال برای استفاده در صنعت نیمه‌هادی

شرکت تولید نیمه‌هادی تایوان (TSMC) اخیراً از دستاورد مؤسسه تحقیقات فناوری صنعتی تایوان (ITRI) استفاده کرده است. مؤسسه ITRI اقدام به تولید نسل جدید سامانه رصد نانوذرات سیال موسوم به چشم عقاب کرده است که با استفاده از آن می‌توان ذراتی با ابعاد 5 نانومتر را رصد کرد. TSMC با استفاده از این فناوری در فرآیندهای تولیدی خود، به نوعی دستاورد این مؤسسه را وارد زنجیره تولید کرده‌است.
در میان تجهیزات و فناوری‌های نیمه‌هادی نوآورانه ITRI که در نمایشگاه SEMICON تایوان برگزار شده، سامانه‌ای ارائه شده که می‌تواند ذرات سیال زیر 20 نانومتر را از نظر ابعاد و غلظت مورد آزمایش قرار دهد؛ ذراتی که با استفاده از روش‌ها و تجهیزات فعالی غیرقابل پایش هستند.
این سامانه می‌تواند توزیع اندازه ذرات و غلظت نانوذرات در محلول دوغاب، ایزوپروپانول، هیدروژن پراکساید و آب خالصی که در کارخانه‌های نیمه‌هادی استفاده می‌شود را شناسایی کند. این سامانه بر مشکل محدودیت رصد ذرات 40 نانومتری با ابزارهای پراش نور فعلی غلبه می‌کند و می‌تواند ذرات مایع را از 5 نانومتر تا 1000 نانومتر شناسایی کند. این قابلیت به شرکت‌های نیمه‌هادی کمک می‌کند تا با فراغ بال وارد فرآیندهای 7 تا 10 نانومتر شوند.
این نسل جدید دستگاه رصد نانوذرات سیال بعد از 5 تحقیق و توسعه به‌دست آمده است. این مرکز قصد دارد تا برای تجاری‌سازی این فناوری یک شرکت جدید تأسیس کند تا به‌صورت سرمایه‌گذاری خطرپذیر از اواخر سال 2017 فعالیت خود را آغاز کند.
دستاورد دیگر ITRI، فناوری بسته‌بندی است که از آن می‌توان برای بسته‌بندی ICها استفاده کرد. این فناوری به‌گونه‌ای طراحی شده که با استفاده از آن می‌توان چند لایه نازک را روی هم قرار داد و در نهایت یک فیلم نازک برای بسته‌بندی ایجاد کرد که امکان محاط کردن تراشه‌های مورد استفاده در اینترنت اشیاء را فراهم می‌کند.